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賦能產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新！第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會報(bào)名開啟
近期順利完成清華大學(xué)GDS-D3三組分動態(tài)配氣系統(tǒng)驗(yàn)收
近期順利完成清華大學(xué)GDS-D3三組分動態(tài)配氣系統(tǒng)驗(yàn)收!
清華大學(xué)此次采購的GDS-D3三組分動態(tài)配氣系統(tǒng)運(yùn)用目前上*的測量和控制技術(shù)，設(shè)備穩(wěn)定可靠，配制精度高。
GDS-D3三組分動態(tài)配氣系統(tǒng)還特殊定制了加濕配氣系統(tǒng)，全自動化控制，操作簡單可靠 。設(shè)備集成在一個機(jī)箱內(nèi)。外觀簡潔，美觀。主要設(shè)備包括：操作軟件，LED觸摸屏，質(zhì)量流量控制器，單向閥，截止閥，阻火閥，氣體混合管路等。該系統(tǒng)配置3路質(zhì)量流量控制器，可實(shí)現(xiàn)2—3個組份氣體混合配比。可以多預(yù)留出N路，以便于以后擴(kuò)展系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫內(nèi)有多達(dá)四五十種氣體，使用時通過計(jì)算機(jī)直接調(diào)取選擇。 混合氣體大流量：≈ 120L/min。配氣通道：3路，可擴(kuò)展通道至12路。
GDS-D3三組分動態(tài)配氣系統(tǒng)還被計(jì)量院，科研院所，氣體分析儀和傳感器生產(chǎn)廠家廣泛使用！
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