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中國科大參與制定的半導(dǎo)體線寬測量標(biāo)準(zhǔn)正式發(fā)布
2020年03月09日 14:28:03 來源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：6290

2020年3月6日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)傳來好消息稱，標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)正式發(fā)布了一項(xiàng)由中國科技大學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心丁澤軍團(tuán)隊(duì)主導(dǎo)制定的標(biāo)準(zhǔn)：“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”

　　【化工儀器網(wǎng) 行業(yè)動態(tài)】隨著社會的發(fā)展，中國與世界的聯(lián)系愈加緊密。無論是市場一體化，還是經(jīng)濟(jì)化的逐步深入，都表明中國必須更加積極主動的融入世界經(jīng)濟(jì)，而在這一過程中，參與制定規(guī)則不僅是提升地位、彰顯國家強(qiáng)盛的一種重要手段，更能有效推動中國的對外貿(mào)易發(fā)展，及保障本國安全、保護(hù)消費(fèi)者權(quán)益。
 
　　為什么這么說呢？舉個(gè)簡單的例子，近日我國一批水果就因?yàn)椴环蠚W盟食品安全標(biāo)準(zhǔn)被警告通報(bào)，還有一批醬油被拒絕入境。技術(shù)壁壘作為一種正當(dāng)合法的壁壘，影響著貿(mào)易的進(jìn)行。因此，我國在開展對外交流的同時(shí)，也需要積極參與到標(biāo)準(zhǔn)的制修訂當(dāng)中去，提升我國在交往中的話語權(quán)。
 
　　2020年3月6日，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)傳來好消息稱，標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)正式發(fā)布了一項(xiàng)由中國科技大學(xué)技術(shù)大學(xué)物理學(xué)院和微尺度物質(zhì)科學(xué)國家研究中心丁澤軍團(tuán)隊(duì)主導(dǎo)制定的標(biāo)準(zhǔn)：“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”(Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM (ISO 21466))。據(jù)了解，該項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)屬于微束分析領(lǐng)域，是半導(dǎo)體線寬測量方面的標(biāo)準(zhǔn)，也是半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域由中國主導(dǎo)制定的標(biāo)準(zhǔn)。
 
　　半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展日新月異，對集成電路器件加工尺寸的控制也要求日趨精細(xì)，其中納米尺度線寬測量的精準(zhǔn)性直接決定著器件的性能，納米器件尺度的準(zhǔn)確和精確(精度<1 nm)測量技術(shù)對半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展起著至關(guān)重要的作用。目前，人們已經(jīng)發(fā)展了多種測量技術(shù)手段，如原子力顯微鏡、透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和測長掃描電鏡(CD-SEM)等。
 
　　丁澤軍團(tuán)隊(duì)發(fā)展了先進(jìn)的用于掃描電子顯微術(shù)和表面電子能譜學(xué)的Monte Carlo模擬計(jì)算方法，并結(jié)合了“基于模型數(shù)據(jù)庫”(MBL)方法，提出了“基于測長掃描電鏡的關(guān)鍵尺寸評測方法”的ISO標(biāo)準(zhǔn)(IS)。
 
　　標(biāo)準(zhǔn)指定了利用CD-SEM成像表征刻蝕線寬的結(jié)構(gòu)模型及其相關(guān)參數(shù)、Monte Carlo模擬模型和成像掃描線計(jì)算方法、圖像匹配擬合程序和CD參數(shù)定值法等內(nèi)容。與傳統(tǒng)的方法相比，該方法能夠給出準(zhǔn)確的CD值，并且把線寬測量從單一參數(shù)擴(kuò)展到包含結(jié)構(gòu)形貌特征的信息，適用于如晶圓上的柵極、光掩模、尺寸小至10 nm的單個(gè)孤立的或密集的線條特征圖案。該標(biāo)準(zhǔn)不僅為半導(dǎo)體刻蝕線寬的CD-SEM準(zhǔn)確評測確定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，也為一般性納米級尺寸的其它測量法提供了參考。
 
　　半導(dǎo)體行業(yè)是近些年快速發(fā)展的一個(gè)領(lǐng)域，其科研價(jià)值和經(jīng)濟(jì)價(jià)值都不容小覷，因此受到了諸多國家的關(guān)注。對我國來說，參與制定半導(dǎo)體相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)，不僅有助于促進(jìn)半導(dǎo)體評測技術(shù)的發(fā)展，也有利于提升我國在半導(dǎo)體行業(yè)的影響力和競爭力。
 
資料來源：中科大
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