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X射線熒光光譜儀設(shè)備中標結(jié)果公告
2023年07月10日 12:00:51 來源:機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺 點擊量:5605

項目名稱:北京懷柔實驗室2023年第四批科研設(shè)備采購項目,項目編號:1495-234thhrlab04/06,招標范圍:產(chǎn)品名稱:X射線熒光光譜儀設(shè)備 數(shù)量:1臺 簡要技術(shù)規(guī)格:X射線熒光光譜儀(XRF)是一種半導體檢測設(shè)備,具體規(guī)格如下: 1)用于硅片表面金屬厚度檢測,具備對多種金屬材料如Al、Ni、Ti、Ag等及其合金的膜厚進行非破壞性測試功能; 2)Al元素測試限:0.01~15μm; 3)

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  項目名稱:北京懷柔實驗室2023年第四批科研設(shè)備采購項目
 
  項目編號:1495-234thhrlab04/06
 
  招標范圍:產(chǎn)品名稱:X射線熒光光譜儀設(shè)備 數(shù)量:1臺 簡要技術(shù)規(guī)格:X射線熒光光譜儀(XRF)是一種半導體檢測設(shè)備,具體規(guī)格如下: 1)用于硅片表面金屬厚度檢測,具備對多種金屬材料如Al、Ni、Ti、Ag等及其合金的膜厚進行非破壞性測試功能; 2)Al元素測試限:0.01~15μm; 3)Au元素測試限:0.005~10μm; 4)Ag元素測試限:0.005~4μm; 5)測厚精度:RSD<5%; 6)X射線光斑尺寸:≤35μm; 7)適用于6、8英寸晶圓。
 
  招標機構(gòu):天恒招標有限公司
 
  招標人:北京懷柔實驗室
 
  開標時間:2023-06-30 09:30
 
  公示時間:2023-07-03 17:14 - 2023-07-06 23:59
 
  中標結(jié)果公告時間:2023-07-07 14:34
 
  中標人:瑞德儀實業(yè)有限公司
 
  制造商:BOWMAN Analytics,Inc.
 
  制造商國家或地區(qū):美國
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