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埃米儀器完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資 加速高精密量測設備國產替代
2024年12月10日 14:53:27 來源：化工儀器網(wǎng) 作者：宋池 點擊量：4177

近日，南京埃米儀器科技有限公司宣布成功完成數(shù)千萬元的Pre-A輪融資，本輪融資由博將資本領投。

　　【化工儀器網(wǎng) 廠商報道】近日，南京埃米儀器科技有限公司(以下簡稱“埃米儀器”)宣布成功完成數(shù)千萬元的Pre-A輪融資，本輪融資由博將資本領投。此次融資將主要用于進一步提升先進半導體制程用的高精密量測設備的國產替代能力，豐富產品線，并加大市場開拓力度。
 
　　埃米儀器成立于2022年8月，總部位于南京江北新區(qū)研創(chuàng)園，是一家專注于研發(fā)和生產用于芯片制造高精密量測設備的技術企業(yè)。自成立以來，公司一直致力于引領國內高精密3D量測設備的國產化進程，不斷攻克核心技術難題。
 
　　公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產品聚焦于納米/亞納米級三維結構的高精密高速量/檢測裝備，主要應用于芯片制程中的微結構量測和缺陷檢測。這些產品對于解決相關領域的卡脖子技術具有重要意義，有助于提升我國芯片制造業(yè)的整體競爭力。
 
　　目前，埃米儀器擁有一支以國家級人才為主的研發(fā)核心團隊，并與南京大學、山東大學、南智光電研究院等國內外科研院所、機構建立了密切合作關系。這些合作不僅提升了公司的技術研發(fā)能力，還為公司帶來了更多的市場機遇。
 
　　量測設備作為半導體設備的第四大市場，規(guī)模占半導體設備市場份額的15%左右。在芯片生產過程中，量測設備能夠監(jiān)測、識別、定位、分析工藝缺陷，對于晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝、提高良率具有重要作用。其中，原子力顯微鏡(AFM)作為目前精度最高的量測設備之一，正在成為先進制程中的主力量測設備。
 
　　埃米儀器是國內將在線工業(yè)級原子力顯微鏡產品推向高端制程的公司。其工業(yè)級高通量原子力顯微鏡技術路線已得到客戶的認可和大力支持。截至目前，公司已推出多款量測設備，包括在線工業(yè)級原子力顯微鏡量測設備APEX-X1(全自動機臺)、科研級原子力顯微鏡量測設備APEX-1000(半自動機臺)、高速光學掃描輪廓儀UltraView-1000、UltraView-2000等。其中，APEX-X1已完成某芯片頭部企業(yè)的產品正式交付。
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