埃米儀器完成數(shù)千萬元Pre-A輪融資 加速高精密量測設(shè)備國產(chǎn)替代
【化工儀器網(wǎng) 廠商報道】近日，南京埃米儀器科技有限公司(以下簡稱“埃米儀器”)宣布成功完成數(shù)千萬元的Pre-A輪融資，本輪融資由博將資本領(lǐng)投。此次融資將主要用于進一步提升先進半導(dǎo)體制程用的高精密量測設(shè)備的國產(chǎn)替代能力，豐富產(chǎn)品線，并加大市場開拓力度。
埃米儀器成立于2022年8月，總部位于南京江北新區(qū)研創(chuàng)園，是一家專注于研發(fā)和生產(chǎn)用于芯片制造高精密量測設(shè)備的技術(shù)企業(yè)。自成立以來，公司一直致力于引領(lǐng)國內(nèi)高精密3D量測設(shè)備的國產(chǎn)化進程，不斷攻克核心技術(shù)難題。
公司以芯片制造企業(yè)為主要客戶，產(chǎn)品聚焦于納米/亞納米級三維結(jié)構(gòu)的高精密高速量/檢測裝備，主要應(yīng)用于芯片制程中的微結(jié)構(gòu)量測和缺陷檢測。這些產(chǎn)品對于解決相關(guān)領(lǐng)域的卡脖子技術(shù)具有重要意義，有助于提升我國芯片制造業(yè)的整體競爭力。
目前，埃米儀器擁有一支以國家級人才為主的研發(fā)核心團隊，并與南京大學(xué)、山東大學(xué)、南智光電研究院等國內(nèi)外科研院所、機構(gòu)建立了密切合作關(guān)系。這些合作不僅提升了公司的技術(shù)研發(fā)能力，還為公司帶來了更多的市場機遇。
量測設(shè)備作為半導(dǎo)體設(shè)備的第四大市場，規(guī)模占半導(dǎo)體設(shè)備市場份額的15%左右。在芯片生產(chǎn)過程中，量測設(shè)備能夠監(jiān)測、識別、定位、分析工藝缺陷，對于晶圓廠及時發(fā)現(xiàn)問題、改善工藝、提高良率具有重要作用。其中，原子力顯微鏡(AFM)作為目前精度最高的量測設(shè)備之一，正在成為先進制程中的主力量測設(shè)備。
埃米儀器是國內(nèi)將在線工業(yè)級原子力顯微鏡產(chǎn)品推向高端制程的公司。其工業(yè)級高通量原子力顯微鏡技術(shù)路線已得到客戶的認可和大力支持。截至目前，公司已推出多款量測設(shè)備，包括在線工業(yè)級原子力顯微鏡量測設(shè)備APEX-X1(全自動機臺)、科研級原子力顯微鏡量測設(shè)備APEX-1000(半自動機臺)、高速光學(xué)掃描輪廓儀UltraView-1000、UltraView-2000等。其中，APEX-X1已完成某芯片頭部企業(yè)的產(chǎn)品正式交付。
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