當(dāng)今的高性能電子束工具對變化的環(huán)境磁場非常敏感。磁場會移動光束,從而導(dǎo)致分辨率和測量精度下降。SC22系統(tǒng)減少了周圍的交流電場并恢復(fù)了分辨率和精度。
SC22消磁器系統(tǒng)包括磁場控制單元,交流磁場傳感器和三根正交多芯電纜,它們安裝在要消除磁場的房間中。SC22可以驅(qū)動單回路和雙回路機(jī)房尺寸的電纜。它也適用于亥姆霍茲電纜,該電纜已連接到圓柱周圍的框架上??刂茊卧械拿總€(gè)功率放大器都通過其電纜驅(qū)動電流,以產(chǎn)生與環(huán)境場變化相反的場。磁場傳感器測量所得的磁場,實(shí)時(shí)負(fù)反饋通過系統(tǒng)的環(huán)路增益減小了環(huán)境磁場。該系統(tǒng)是動態(tài)的,可在100 µs內(nèi)自動響應(yīng)磁場變化。交流電源線場(50/60 Hz)減少了50倍。
消磁器的功能介紹:
通過穩(wěn)定磁場環(huán)境來保護(hù)您對電子束技術(shù)的投資
取消并監(jiān)視交流場
低成本,高性能系統(tǒng)
智能用戶界面
自動設(shè)置
消除10 Hz至5 kHz的交流場
60Hz時(shí)場增強(qiáng)50倍
全3軸(X,Y,Z)系統(tǒng)
峰峰值范圍達(dá)60 mG(6.0 µT)
在100 µs內(nèi)適應(yīng)場變化
支持用于TEM和高梯度場的雙傳感器
USB監(jiān)控端口