【設(shè)備特點(diǎn)】
1、精確溫濕度調(diào)控:確保曝光機(jī)、顯影/ 涂布設(shè)備等制程良率
2、定制化風(fēng)量設(shè)計(jì):根據(jù)客戶的具體需求,定制風(fēng)量,送風(fēng)單元結(jié)構(gòu)均勻布置,確??諝饬魍ǖ木鶆蛐裕M(jìn)一步提升制程質(zhì)量。
3、超準(zhǔn)溫度控制:溫度控制精度高達(dá)±0.01℃,遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),為產(chǎn)線環(huán)境提供了穩(wěn)定性,從而確保了產(chǎn)品的優(yōu)良率。
【產(chǎn)品應(yīng)用】
1、溫度控制精度:±0.1℃~±0.01℃
2、濕度控制精度:±2%RH~±1%RH
3、廣泛適用領(lǐng)域:該設(shè)備廣泛應(yīng)用于面板廠、晶圓廠、封裝測(cè)試廠等精密溫濕度控制領(lǐng)域,助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,確保生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定與高效。