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Leica Z16 光學(xué)數(shù)碼顯微鏡

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      德國(guó)徠卡顯微系統(tǒng)公司專業(yè)生產(chǎn):DVM5000HD高清光學(xué)數(shù)碼顯微鏡,DVM2500實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)三維光學(xué)數(shù)碼顯微鏡,DM8000M,DM12000M晶圓檢查顯微鏡,F(xiàn)PD,COG,導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡,DM8000M-UV,DM12000MUV OLED檢查顯微鏡,DM系列CD測(cè)量設(shè)備,DM系列鑄造合金孔隙率檢測(cè)顯微鏡。


       德國(guó)LEICA 徠卡晶圓和FPD檢查顯微鏡LEICA DM8000M LEICA DM12000M  是經(jīng)典的INM100,INM200,INM300顯微鏡的較早換代產(chǎn)品  產(chǎn)品特性● 0.7倍高級(jí)宏觀物鏡視野達(dá)到40毫米徠卡的立體斜照明,可以快速檢查晶圓表面的微小裂紋所有物鏡均帶電子CODE,可被軟件自動(dòng)識(shí)別,刻度尺自動(dòng)伸縮,無(wú)需自選徠卡的超級(jí)暗場(chǎng)術(shù)背景更黑缺陷一目了然 ● UV高分辨率,可以快速直接觀察到120納米的線條立體UV觀察,可以對(duì)凸塊,溝槽側(cè)壁清晰地觀察大型載物臺(tái)搭載:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圓全面檢查(DM12000M)● 采用高NA的透射光聚光鏡,圖象更銳利多種觀察方式,多種照明方式,多種附件以滿足不同應(yīng)用要求透射和反射照明可同時(shí)使用,*提高液晶基板觀察效果LEICA DM8000M LEICA DM12000M 產(chǎn)品特點(diǎn)縮短檢查用時(shí),提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件透射光檢查照明*的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式,甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動(dòng)對(duì)焦,甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。兩種照明裝置可選,通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD,MASK板檢查提供合適的照明,并且可配備起偏鏡,實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀察。高反差,更高分辨率,更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式熒光分光鏡模塊 UV光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可達(dá)0.12μm。備有U.B.G等多種熒光方式可選,用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C用于晶圓以及器件,甚至焊腳的內(nèi)部檢查近紅外線觀察附件標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口,使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能,并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。包括專門(mén)的紅外物鏡等附件,對(duì)從可見(jiàn)光到近紅外波段光線的像差做矯正,用于IC深層或內(nèi)部檢查,可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查自動(dòng)線寬CD測(cè)量附件以亞像素技術(shù)實(shí)現(xiàn)高度精確的CD測(cè)量,OVERLAY測(cè)量,套刻測(cè)量


     作為世界Z*的光學(xué)儀器廠家,160年來(lái)徠卡公司推出了世界*的LEICA金相顯微鏡,工業(yè)顯微鏡,偏光顯微鏡,立體顯微鏡,體視顯微鏡,實(shí)體顯微鏡,測(cè)量顯微鏡,圖像分析系統(tǒng),工業(yè)切片機(jī),工業(yè)檢測(cè)系統(tǒng)。  將光學(xué)技術(shù),電子技術(shù),自動(dòng)化技術(shù)和軟件技術(shù)結(jié)合起來(lái),德國(guó)徠卡能為電子行業(yè),汽車行業(yè),材料行業(yè)的特定檢測(cè)需求提供更加專業(yè)的解決方案。

合金孔隙率檢測(cè)儀 光學(xué)數(shù)碼顯微鏡 晶圓檢查顯微鏡 FPD檢查顯微鏡 導(dǎo)電粒子檢測(cè)顯微鏡 OLED檢查顯微鏡 CD測(cè)量設(shè)備 孔隙率測(cè)量顯微鏡 三維超景深顯微鏡,超景深三維視頻顯微鏡,超景深三維顯微鏡

 徠卡公司(LEICA)的Z6APO Z16APO光學(xué)數(shù)碼顯微鏡*的光路設(shè)計(jì)使成像不發(fā)生任何變形,確保測(cè)量準(zhǔn)確性.
高級(jí)同軸照明系統(tǒng)更適合強(qiáng)反光表面檢查和測(cè)量如鋁合金針孔,鎂合金針孔,硅片劃痕,IC圖形,ITO玻璃下線路,玻硅鍵合傳感器圖形等.
Leica Z16光學(xué)數(shù)碼顯微鏡技術(shù)參數(shù)
1. Z6 APO 變焦6.3:1, 變焦范圍 0.57X-3.6X;
標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)放大倍數(shù) 7.1X-45X(1X PLAN APO 物鏡,10X目鏡,1.25X Y管)
zui大光學(xué)放大倍數(shù) 360X (2X PLAN APO 物鏡,40X目鏡,1.25X Y管)
zui大分辨能力336LP/MM
配金相鏡頭后光學(xué)放大倍數(shù)和光學(xué)分辨率
1) 575X(10X物鏡,10X目鏡,1.25X Y管),zui大分辨能力1350LP/MM
2)1150X(20X物鏡,10X目鏡,1.25X Y管),zui大分辨能力1260LP/MM
2.Z16 APO 變焦16:1, 變焦范圍 0.57X-9.2X
標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)放大倍數(shù) 7.1X-115X(1X PLAN APO 物鏡,10X目鏡,1.25X Y管)
zui大光學(xué)放大倍數(shù) 920X (2X PLAN APO 物鏡,40X目鏡,1.25X Y管)
zui大分辨能力702LP/MM**
配金相鏡頭后光學(xué)放大倍數(shù)和光學(xué)分辨率
1) 575X(10X物鏡,10X目鏡,1.25X Y管),zui大分辨能力750LP/MM
2)1150X(20X物鏡,10X目鏡,1.25X Y管),zui大分辨能力1200LP/MM
3.標(biāo)準(zhǔn)zui大數(shù)值的孔徑從0.117光學(xué)的至zui大值0.234
大范圍的活動(dòng)距離97MM或39MM
配金相鏡頭后的數(shù)值孔徑zui大為0.45
4.可接10X,20X大數(shù)值孔徑金相鏡頭,可做高倍金相顯微鏡用
Leica Z16主要特點(diǎn):
具有*對(duì)比度,色彩逼真度
齊全元件的*復(fù)消色差的變焦系統(tǒng)和復(fù)消色差物鏡
*的多樣聚焦應(yīng)用于各種各樣試驗(yàn)機(jī)
*逼真度用于精確的測(cè)量,分析和文件的編集
真實(shí)色彩的偏振用于起偏光的光學(xué)檢測(cè)
無(wú)深淺反差反射物體的平滑的無(wú)畸變像用于同軸照明
電動(dòng)聚焦(可選的)
用于高放大率水平的精細(xì)聚焦
可配10X和20X大數(shù)值孔徑金相鏡頭顯微鏡物鏡,可做高倍金相顯微鏡用
用于重復(fù)操作的可轉(zhuǎn)換的焦距位置
內(nèi)裝膜片用于大幅度的視野調(diào)整
變化視角10-50的復(fù)消色差ERGO管
按標(biāo)準(zhǔn)尺寸設(shè)計(jì)的附件可與LEICA M體視顯微鏡產(chǎn)品系列的附件兼容
高性能的光傳播基礎(chǔ)提供*對(duì)比度
高性能的數(shù)碼攝像機(jī)和影像
 



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