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NRL60A/90A/180A 日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵
- 公司名稱 上海民儀電子有限公司
- 品牌
- 型號 NRL60A/90A/180A
- 產(chǎn)地 日本ULVAC
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/8/23 14:33:00
- 訪問次數(shù) 1776
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焊臺:吸煙儀:熔錫爐:熱風(fēng)槍:膠紙機:螺絲機:點膠機:扭力測試儀:硬度計:離子風(fēng)機:離子風(fēng)槍:扭力扳手:推拉力計:靜電測試儀:塵埃粒子計數(shù)器:靜電手指套:放大鏡:顯微鏡:電子秤:溫度計:萬用表:LCR電橋:風(fēng)速儀:頻閃儀:轉(zhuǎn)速表:噪音計:安規(guī)測試儀:耐壓測試儀:照度計:電動螺絲刀:超聲波測厚儀:涂層測厚儀:真空干燥箱:防潮箱:示波器:直流電源:電源供應(yīng)器:信號發(fā)生器:探傷儀:檢漏儀:離子計:比色儀:色譜儀:
日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長
● NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
● 低噪音、低振動
● 優(yōu)良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
● 選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。
日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途
◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)
◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
◆ 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)
◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣
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