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AS-ONE100/150 法國(guó)ANNEALSYS快速退火爐(RTP)

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 北京朗銘潤(rùn)德光電科技有限公司是從事于半導(dǎo)體和太陽能薄膜電池研發(fā)和生產(chǎn)型設(shè)備的代理公司,主要代理產(chǎn)品包括:

德國(guó)FHR公司:磁控濺射設(shè)備、PECVD設(shè)備、刻蝕設(shè)備、靶材、UPS03氣壓控制系統(tǒng)等。

德國(guó)Centrotherm公司:尾氣處理設(shè)備。

法國(guó)FLOWLINK公司:高純特氣閥門,如隔膜閥、波紋管閥、止回閥等。

法國(guó)Annealsys公司:RTP快速熱處理設(shè)備、MOCVD設(shè)備、LPCVD設(shè)備等。

法國(guó)MPA公司:提供制備各種特殊材料的CVD設(shè)備和工藝。

本公司在向客戶提供*產(chǎn)品的同時(shí),向客戶提供*的服務(wù);為客戶著想,與客戶共求發(fā)展,共創(chuàng)雙贏。朗銘值得您的信賴與期待!

Annealsys的RTP快速熱處理、小型MOCVD,Centrotherm的廢氣處理設(shè)備,F(xiàn)lowlink高純特氣閥門

多用途快速退火爐設(shè)備,適用于硅,化合物半導(dǎo)體,光子學(xué)& MEMS

zui高溫度到1500℃, 升溫速率zui大200℃/s, 高真空性能,快速冷卻選項(xiàng)

應(yīng)用:注入退火

合金接觸

快速熱氧化(RTO)

快速熱氮化 (RTN)

從旋涂摻雜物擴(kuò)散

致密性和結(jié)晶化

硅化等工藝

基片類型:硅片、化合物半導(dǎo)體硅片、太陽能電池用的多晶硅片、玻璃基片、金屬基片、石墨舟等。

主要特點(diǎn):配有無聲風(fēng)扇冷卻的紅外鹵素管燈退火爐

不銹鋼冷壁腔室技術(shù)

快速數(shù)字PID溫度控制器

熱電偶和高溫計(jì)控制

大氣和真空下工藝性能

配有針閥的吹掃氣路

zui多5路工藝氣路配有數(shù)字MFC控制器

配有以太網(wǎng)通訊的PC控制,用于快速數(shù)據(jù)記錄

可選渦輪分子泵和壓力控制

 

 

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