1,采用白光共聚焦色差技術,可獲得納米級的分辨率
2,測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高
3,測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
4,尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
5,不受樣品反射率的影響
6,不受環(huán)境光的影響
7,測量簡單,樣品無需特殊處理
8,Z方向,測量范圍大:為27mm
主要技術參數:
1,掃描范圍:150mm×150mm(zui大可選600mm*600mm)
2, 掃描步長:0.1μm
3,掃描速度:20mm/s
4, Z方向測量范圍:27mm
4, Z方向測量分辨率:2nm
產品應用:
MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和*材料的研發(fā)