CP 真空排氣臺
- 公司名稱 深圳市利達(dá)科技有限公司
- 品牌
- 型號 CP
- 產(chǎn)地 TSV
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/7/23 2:23:28
- 訪問次數(shù) 636
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超高真空排氣臺
l 用于電真空器件的排氣工藝過程
l 極限真空度3×10-7Pa~5×10-9Pa
l 烘箱zui高溫度:
l 有單工位、雙工位、多工位等多種型號
l 有不同尺寸的多種型號
類型 參數(shù) | CP1 | CP2 | CP3 | CP4 | CP5 | CP6 | CP7 |
工位數(shù)量 | 2 | 5~14 | 1 | 2 | 1 | 1~4 | 2 |
機(jī)組 | 機(jī)械泵 | 干泵 | 機(jī)械泵 | 機(jī)械泵 | 機(jī)械泵 | 離子泵 | 機(jī)械泵 |
極限真空 | 5×10-8Pa | 5×10-8Pa | 2×10-7Pa | 2×10-7Pa | 4×10-7Pa | 8×10-7Pa | 5×10-6Pa |
有效加熱區(qū) | φ600X1200 | φ500X1000 | φ600X1200 | φ500X600 | φ800X2000 | φ500X600 | φ500X1200 |
烘箱溫度 | | | | | | | |
烘箱真空度 | 2Pa | 2Pa | 2Pa | 2Pa | 2Pa | 常壓 | 2Pa |
升降高度 | 1200 | 1000 | 600 | 600 | 無 | 600 | 1200 |
控制類型 | 手動+自動 | 手動+自動 | 手動+自動 | 手動 | 手動+自動 | 手動+自動 | 手動 |
zui大功率 | 30kw | 30kw | 15kw | 15kw | 55kw | 12kw | 20kw |