HRMS-800 HRMS-800 薄膜樣品測量系統(tǒng)

為了更方便的研究高溫條件下半導(dǎo)體或絕緣材料的導(dǎo)電性能，佰力博科技已經(jīng)研發(fā)出HRMS-800G高溫四探針測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻,,該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于變溫、真空及氣氛條件下測試半導(dǎo)體材料電學(xué)性能的*測量系統(tǒng)。

詳細產(chǎn)品鏈接：http://www.partulab.com/gwstz/hrms800gws.html

客 服 熱 線：

■ 技術(shù)規(guī)格

溫度范圍：室溫-600°C 升溫斜率：3°C /min (典型值）

顯示精度：±0.1°C 控溫精度：±1°C

電阻：10～106 Ω 電阻率：10～106 Ω.cm

方塊電阻：10～106 Ω/□ 可測半導(dǎo)體材料尺寸 ：薄膜直徑： Φ15～30mm

探針間距：2±0.01mm 探針壓力: 0～2kg可調(diào),zui大壓力約2kg

針間絕緣材料：99陶瓷或紅寶石 針間絕緣電阻：≥1000MΩ

探針材料：碳化鎢 數(shù)據(jù)傳輸：2個USB接口

HRMS-800 高溫四探針測量系統(tǒng)HRMS-800 高溫四探針測量系統(tǒng)HRMS-800 高溫四探針測量系統(tǒng)

■ 訂購信息

HRMS-800 高溫四探針測量系統(tǒng) Part Number

HRMS-800  測量溫度 室溫-300°C HRMS8H001

HRMS-800  測量溫度 室溫-600°C ,帶真空氣氛 HRMS8H002

01測量儀表選件  

/A 2400數(shù)字源表、USB-GIPB卡及測量電纜 HRMS8H01A

/B 渦旋式干泵 HRMS8H01B

/C 旋片真空泵 HRMS8H01C

附件  

薄膜四探針更換套件 PLHS-4

溫度控制板替換件 PLWKB

高溫傳感器替換件 PLK-1000

■ NOTE

標(biāo)準(zhǔn)配置含主機、固體園片樣品測量夾具、測量分析軟件、標(biāo)準(zhǔn)樣品工具箱、電源線、測量導(dǎo)線、測試報告、操作說明書。