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5400系列 KOFLOC 低成本金屬密封型質(zhì)量流量控制器/計(jì)
- 公司名稱 廣州沃華儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) 5400系列
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2017/7/8 13:59:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 722
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DWYER的差壓、壓力、流量、風(fēng)速、溫濕度、物位、測(cè)試儀器、閥門；日本HORIBA和KOFLOC的氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器，浮子流量計(jì)，針閥；韓國(guó)TK，SUPER LOK，Y-LOK的閥門、焊接、卡套、VCR接頭和日本YAMATO恒溫水槽、干燥箱、電子半導(dǎo)體用高壓脫泡機(jī)等實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
型號(hào)5400系列質(zhì)量流量控制器/計(jì)無(wú)焊接結(jié)構(gòu)，金屬密封，精確度≤ ±1%，響應(yīng)≤±1/秒，基本的性能適用于半導(dǎo)體過(guò)程控制，而且價(jià)格合理。型號(hào)5410系列同樣主體的設(shè)計(jì)價(jià)格也十分合理。
特點(diǎn)
通過(guò)安裝一個(gè)溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)
通用的常閉型閥門
無(wú)焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露
由于膈膜角座閥較少了死區(qū)
間距，主體尺寸和連接的設(shè)計(jì)可以和生產(chǎn)商的控制器兼容
技術(shù)指標(biāo)
| F.S.流量 （N2換算） | 10SCCM-20SLM |
| 閥門方式 | 常閉電磁隔膜閥 |
| 控制范圍 | 2%-*F.S. |
| 響應(yīng) | ±2% 在1秒以內(nèi) |
| QS option proviodes 1 sec.or less for 0-* to 0-20%responses | |
| 精度 | ±1.0%F.S.以內(nèi) |
| 線性 | ±0.5%F.S.以內(nèi) |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S.以內(nèi) |
| 耐壓 | 980kPa |
| 操作差壓 | F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa |
| 5＜F.S.≤20SLM 147kPa-294kPa | |
| 泄漏范圍 | 1×10-11Pa·m3/s 以內(nèi) |
| 使用溫度 | 0℃-50℃（精度保證：15-35℃） |
| 連接氣體部分材料 | 外殼：SUS316L |
| 隔膜：Ni-Co | |
| 閥座：PTFE | |
| 封條：Ni，SUS316L | |
| 接頭 | 1/4VCR |
| 電力連接 | Dusb 9-pin male connector per KFC standard |
| 輸入流量信號(hào) | 0-5VDC |
| 輸出流量信號(hào) | 0-5VDC |
| 需求電源供給 | 5400:'+15VDC（±5%）100mA-15VDC（±5%）200mA |
| 5410:'+15VDC（±5%）100mA-15VDC（±5%）100mA |
選型表
| 訂購(gòu)范例 | 5400 | 1/4VCR | N2 | 20SLM | O | 5400-1/4VCR-N2-20SLM-O |
| 型號(hào) | 5400 | | 5400：質(zhì)量流量控制器 | |||
| | 5410：質(zhì)量流量計(jì) | |||||
| 連接方式 | | 1/4VCR | | 標(biāo)準(zhǔn)：1/4VCR | ||
| 介質(zhì) | | N2 | | N2：以N2換算 | ||
| 流量 | | 20SLM | | 10SCCM-20SLM（在N2的標(biāo)準(zhǔn)條件下） | ||
| 選項(xiàng) | | O | O:無(wú)選項(xiàng) | |||
| 選項(xiàng)名稱：QS:快開(kāi) | ||||||
| SL:慢開(kāi) | ||||||
| LP:低差壓技術(shù)指標(biāo) | ||||||
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