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LEM-CT-670-G50 實(shí)時(shí)膜厚檢測儀
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海首立實(shí)業(yè)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 LEM-CT-670-G50
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/3/19 7:09:27
- 訪問次數(shù) 1882
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材,電子,汽車,電氣 |
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概要
實(shí)時(shí)的干涉測量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時(shí),使用干涉測量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測?;谶@個相對簡單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
特征
- 兩種類型的激光器,可兼容大范圍的薄膜,包括SiN, SiO2, GaAs, InP, AlGaAs, and GaN.
- 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
- 終點(diǎn)檢測法的靈活應(yīng)用。
- *的加工特點(diǎn)。