概述
宇正YZ-2010石英管式微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn),技術(shù)*,性能穩(wěn)定。本裝置利用微波激勵氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體,等離子體產(chǎn)生效率高。樣品裝卸簡捷,操作方便,維護(hù)簡單。輸入不同的工作氣體,可進(jìn)行薄膜材料的制備、化學(xué)合成、表面刻蝕、等離子體燒結(jié)等多方面的實驗,可廣泛用于物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域。
技術(shù)指標(biāo)與特性
1) 裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
2) 微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續(xù)可調(diào)(zui大功率可達(dá)1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示??砷L時間連續(xù)工作。微波耦合腔為水冷夾套結(jié)構(gòu),滿足各類實驗要求。
3) 等離子體反應(yīng)室為內(nèi)徑ф50mm的石英管真空室,頂部觀察窗和正與左側(cè)面的觀察網(wǎng)孔方便進(jìn)行各種實驗觀察。
4) 基片臺位置可調(diào)節(jié),并方便拆卸,裝卸區(qū)直徑ф50mm,并可選配石英基片臺與石墨基片臺。基片臺為微波等離子體自加熱,溫度自室溫至1200℃。
5) 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),無水源要求。確保裝置高功率下長時間安全穩(wěn)定運行。
6) 兩路氣體輸入,在等離子體發(fā)生室頂部中心輸入工作氣體。
7) 真空度顯示(精確至1Pa)。
8) 氣體流量在較大范圍可調(diào)并顯示(精確至0.01L/min)。
9) 無電極放電,避免了電極污染,能量轉(zhuǎn)換效率高。