固態(tài)源源瓶
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維意真空ALD/MO源瓶
*** 源瓶(起泡器)用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類的封裝,涉及微正壓、
常壓、中低壓的危險化學(xué)品,所以對源瓶的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要
求。
*** 源瓶特點(diǎn):
1、所有管件采用316L不銹鋼,內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光,Ra≦0.25微米;
2、閥門有美國世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國TK隔膜閥供選擇;
3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片;
4、氦質(zhì)譜檢測泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
5、可盛裝化學(xué)品純度≧99.9995;
6、總殘余元素量≦50PPb;
7、墜落試驗,通過國家商檢部門檢測;
8、介質(zhì),TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
9、可選擇氣動閥門或者實現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等;
10、可提供非標(biāo)定做。