SP系列 探針臺系統(tǒng)
- 公司名稱 深圳市展芯科技有限公司
- 品牌
- 型號 SP系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì)
- 更新時間 2016/10/20 17:09:32
- 訪問次數(shù) 544
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產(chǎn)品應(yīng)用：
DC、RF、mmW測試
納米級電子器件測試，微機(jī)電測試
高功率測試
SP 系列是專為亞微米級分析測試而研發(fā)的探針臺，包含6/8/12英寸三個不同型號，可應(yīng)用于I-V/C-V測試、RF測試、mmW（毫米波/微波）測試、T-Hz測試、失效分析、晶圓或器件的特性測量、MEMS（微機(jī)電）等等的分析測試中。
SP 系列低重心的結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保了臺體在高精度測試下的穩(wěn)定性。載物臺移動基座采用高精度絲桿傳動，配合高精度交叉滾柱導(dǎo)軌和直線導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)向，實現(xiàn)了載物臺亞微米級的空間定位精度；同時，一體化的探針座放置平臺，配合高剛性的支撐機(jī)構(gòu)，整體的垂直應(yīng)力形變在5μm/10N以內(nèi)，保證了測試探針的穩(wěn)定性。顯微鏡的龍門支架及同軸移動基座，讓顯微鏡定位操作更加快速方便，同時還保持了超高的穩(wěn)定性，為亞微米級的空間定位精度提供了穩(wěn)定的光學(xué)支持。
SP系列結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊，如顯微鏡的同軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，載物臺的真空驅(qū)動開關(guān)及快速拖出功能等，有效地提高了用戶的操作效率。載物臺Z軸細(xì)調(diào)行程為13mm，配合平臺板Z軸行程45mm，使SP系列可適用于更多不同的測試配置和樣片，滿足更多的分析應(yīng)用需求。
技術(shù)指標(biāo) |
載物臺(常規(guī)晶圓載物臺） |
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尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
材質(zhì) | 不銹鋼 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空區(qū)域* | 0，2"，4"，6"環(huán)形吸附** |
真空控制 | 手動控制，獨立真空區(qū)域 |
真空驅(qū)動方式 | 真空泵 |
載物臺電性能 | 載物臺信號導(dǎo)通，可選擇接地或接信號 |
*根據(jù)載物臺尺寸有所不同，如載物臺尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域為0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 | |
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載物臺移動基座 |
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X-Y軸行程范圍* | 6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 |
精度 | 1μm |
R軸粗調(diào)角度范圍 | 360° |
R軸細(xì)調(diào)角度范圍 | ±9° |
微調(diào)精度 | 0.0001°/deg |
Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 13mm |
細(xì)調(diào)精度 | 1μm |
Z軸快升行程 | 0~6mm, 可調(diào) |
Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
*根據(jù)載物臺尺寸不同，行程有所不同，如載物臺為12"，則X-Y移動行程為12"*12"。 | |
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探針座放置平臺 |
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材質(zhì) | 鋼，表面沉鎳處理 |
平臺板尺寸* | 可放置8個CM50或4個RF50探針座 |
平臺板至載物臺高度 | 1.496”(38mm) （該參數(shù)待定） |
探針座兼容性 | 可兼容磁力或真空吸附底座的探針座 |
Z軸細(xì)調(diào)行程范圍 | 45mm |
Z軸快升行程 | 350μm （該參數(shù)待定） |
Z軸往復(fù)精度 | <1μm |
*此處為6"探針臺可放置的探針座數(shù)量 ，更大尺寸探針臺詳詢客服人員。 | |
顯微鏡移動基座 |
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X-Y軸行程范圍 | 2"*2"(50mm* 50mm) |
X-Y軸精度 | 1μm |
調(diào)焦行程 | 2"(50mm) |
精度 | 1μm |
Z軸粗調(diào)行程 | 100mm |
氣動升降行程 | 40mm |
技術(shù)指標(biāo) |
光學(xué)系統(tǒng) |
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類型 | 金相顯微鏡，可選單筒顯微鏡 |
光學(xué)放大倍數(shù)* | 20X-2000X |
* 根據(jù)所選物鏡或顯微鏡放大倍數(shù)不同會有不同的光學(xué)放大倍數(shù)，詳細(xì)請咨詢客服人員。 | |
其它信息 |
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臺體尺寸 | mm*mm*mm（W*D*H） |
重量 | kg |
加熱載物臺(可選項） |
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尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
溫度范圍 | 室溫~300℃ |
溫控精度* | 0.5℃（典型值） |
溫度均勻性 | 0.5℃@6"載物臺 |
加熱時間 | <6min（室溫~300℃） |
標(biāo)準(zhǔn)配置的加熱臺為自然冷卻，可選風(fēng)冷或水冷套件。 |
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RF載物臺(可選項） |
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尺寸 | 6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
校準(zhǔn)片載物臺 | 2個（獨立真空控制） |
尺寸 | 配套CS-5等尺寸的校準(zhǔn)片 |
校準(zhǔn)片載物臺角度調(diào)節(jié)范圍 | 7° |
材質(zhì) | 不銹鋼 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空驅(qū)動方式 | 真空泵 |
其它擴(kuò)展配件(可選項） |
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探針卡夾具 | 可根據(jù)探針卡尺寸定制，應(yīng)用于多點或自動測試 |
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激光器 | 1064nm，532nm，355nm，三個波段自由配置，對芯片線路進(jìn)行切割修改。 |
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半自動控制系統(tǒng) | 實現(xiàn)晶圓小批量半自動測試需求 |
設(shè)備環(huán)境要求 |
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電源 | 220V±10% |
真空 | -8bar |
壓縮空氣 | 0.6MPa |
特別提示
1. “產(chǎn)品應(yīng)用示例”欄目下的圖示是為方便客戶理解產(chǎn)品應(yīng)用而拍攝的產(chǎn)品應(yīng)用示意圖片，實際銷售的商品配置，請您參考“產(chǎn)品配置說明”或咨詢我司客服人員。
2. 若我司的客服人員無法及時答復(fù)您的問題，請麻煩您致電深圳市展芯科技有限公司，：，我們將在zui短的時間內(nèi)響應(yīng)您的需求。
品牌簡介-PRCBE
展芯科技是一家專業(yè)的探針臺系統(tǒng)研發(fā)和生產(chǎn)商，致力于為用戶提供中國（PRC）精準(zhǔn)（Precise）、可靠（Reliable）和高性價比（Cost-effective）的探針臺系統(tǒng)。
依托于自有的芯片失效分析實驗室，展芯科技得以根據(jù)zui前端的測試需求不斷地研發(fā)改進(jìn)，以滿足用戶日新月異的測試需求。同時，芯片失效分析實驗室也為展芯的提供了理論實際的測試平臺，芯片分析實驗室用戶在使用的同時，也給我司產(chǎn)品提供了寶貴的改進(jìn)建議。
經(jīng)過10年的發(fā)展和積累，展芯已在的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域取得了的成績，可針對用戶不同的測試需求定制解決方案，如微弱電流測試（1fA）、RF 和mmW測試（THz）、高功率測試（100A，10kV）、真空高低溫測試（-196℃~800℃）、光電測試等等。
憑借著PRC的產(chǎn)品，展芯贏得了半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)和公司的信任和尊重，建立了*的合作關(guān)系。展芯的已在國內(nèi)外的科研院所、學(xué)校和公司中獲得廣泛的使用，如中科院、廣州五所（賽寶實驗室）、北京自動化設(shè)備研究所、電子科技大學(xué)、西安電子科技大學(xué)、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、香港大學(xué)、香港科技大學(xué)、香港城市大學(xué)、華為、中興、比亞迪、富士康等等。
感謝您對展芯的關(guān)注，相信我們PRC的產(chǎn)品定能讓您在集成電路 (IC)、電路板、光學(xué)器件、MEMS、3D TSV、LCD等*半導(dǎo)體器件的精密電氣測量及測試中獲得精準(zhǔn)可靠的測試數(shù)據(jù)。
售后服務(wù)
2年質(zhì)量保修期
除探針耗材外，展芯科技銷售的產(chǎn)品質(zhì)量保證期為貨物簽收之日起2年，在此期間若合同標(biāo)的物出現(xiàn)質(zhì)量問題，均由展芯負(fù)責(zé)維修或替換，但以下情況除外：1. 自然原因?qū)е碌漠a(chǎn)品質(zhì)量衰退、精度下降；2. 人為或不可抗拒的自然現(xiàn)象而發(fā)生的損壞；3. 用戶擅自進(jìn)行的拆解、改裝、功能附加或減除導(dǎo)致的損壞；4. 用戶自行或經(jīng)第三方維修導(dǎo)致的損壞。
免費終身維護(hù)
除探針耗材外，展芯科技銷售的產(chǎn)品均可享受免費終身維護(hù)服務(wù)。
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