STM7測(cè)量顯微鏡

通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和*的測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量
多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能
STM7測(cè)量顯微鏡系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測(cè)量。

明場(chǎng)圖像	暗場(chǎng)圖像
微分干涉圖像	偏光圖像

花崗巖精雕細(xì)琢而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測(cè)量的可靠性

STM7-LFFEM分析

為了進(jìn)一步保證測(cè)量精度，STM7測(cè)量顯微鏡系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測(cè)量可到達(dá)亞微米水平，同時(shí)確保zui大程度地降低誤差。

作為高度測(cè)量的先鋒，繼續(xù)提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測(cè)量

共聚焦自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)光路

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測(cè)量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測(cè)量，而且Z軸方向的高精度測(cè)量也成為必須。奧林巴斯成為成功開(kāi)發(fā)了測(cè)量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的公司，以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測(cè)量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統(tǒng)時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

測(cè)量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)

設(shè)計(jì)注重易用性
提供載物臺(tái)以適合眼下的樣本大小
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 短測(cè)量行程無(wú)法滿足較大樣品的測(cè)量需求。
? 目前為止，大型載物臺(tái)在X軸方向提供了足夠的測(cè)量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測(cè)量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品來(lái)補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時(shí)，效率不高。
? 由于可測(cè)量的范圍窄，無(wú)法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測(cè)量。
[STM7解決方案]
    共有四種*的正方形測(cè)量行程的載物臺(tái)可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)會(huì)適合您要測(cè)量的樣品。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實(shí)現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺(tái)也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長(zhǎng)的方形載物臺(tái)在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測(cè)量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測(cè)量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

STM7-CS50 50mm x 50mm	STM7-CS100 100mm x 100mm
STM7-CS200 200 mm x 200 mm	STM7-CS300 300 mm x 300 mm

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
[常見(jiàn)問(wèn)題]
大部分傳統(tǒng)的測(cè)量顯微鏡只可以測(cè)量物鏡或金相物鏡，無(wú)法同時(shí)滿足多種觀察要求。
[STM7解決方案]
可以通過(guò)安裝一個(gè)測(cè)量物鏡適配器使用測(cè)量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)同時(shí)結(jié)合在一臺(tái)測(cè)量顯微鏡中。通過(guò)這種方式，無(wú)論是測(cè)量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對(duì)應(yīng)并協(xié)助用戶(hù)選擇*的觀察方法。
測(cè)量物鏡
由于測(cè)量物鏡具有非常長(zhǎng)的工作距離，因此可以在對(duì)表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無(wú)需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測(cè)量物鏡的低倍率能力，可以一次觀察到較大的視場(chǎng)。

金相物鏡
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀察之外還可以對(duì)應(yīng)暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀察。

明場(chǎng)圖像

暗場(chǎng)圖像

手動(dòng)和電動(dòng)調(diào)焦模式的選擇
系列包括手動(dòng)調(diào)焦和電動(dòng)調(diào)焦兩個(gè)系列
對(duì)于Z軸的上下調(diào)焦，有手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種系列供您選擇。請(qǐng)根據(jù)樣品和測(cè)量?jī)?nèi)容選擇符合您需求的機(jī)型，而不需要考慮載
物臺(tái)的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺，各種型號(hào)STM7都可以對(duì)應(yīng)3軸測(cè)量。

手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型	手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測(cè)量具有各種高度樣品的用戶(hù)提供了方便。
電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型	使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機(jī)型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。

一個(gè)具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測(cè)量顯微鏡的操作性
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無(wú)法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
? 增加功能時(shí)需要添置額外的操作單元。操作者需要同時(shí)操作多個(gè)單元而導(dǎo)致無(wú)法高效率地進(jìn)行測(cè)量。操作時(shí)也經(jīng)常會(huì)發(fā)生找不到操作單元的情況。
[STM7解決方案]
控制裝置
對(duì)于系列，只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測(cè)量顯微鏡操作，包括重置計(jì)數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

用于手動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型： STM7-HS手動(dòng)操作裝置

用于電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型： STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

控制箱
各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以zui大程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測(cè)量效率的光源管理器
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實(shí)現(xiàn)光強(qiáng)的定量控制。這樣每次測(cè)量時(shí)的光強(qiáng)無(wú)法保持*，導(dǎo)致測(cè)量值也發(fā)
生變化。
? 使用傳統(tǒng)測(cè)量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)，這使得工作流程非常低效。
[STM7解決方案]
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示

能夠?qū)崿F(xiàn)光強(qiáng)的定量數(shù)字化顯示，保證了能在始終*的照明條件下實(shí)施觀察。

物鏡切換時(shí)，無(wú)需手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)
光強(qiáng)度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)自動(dòng)識(shí)別目前使用的物鏡，結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)
值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊(cè)照明方式和光強(qiáng)。這樣每當(dāng)切換物鏡后，可以自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)和調(diào)整照明方式。象以前每次
切換倍率后手動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)的操作，現(xiàn)在就可以省略了。

5倍 強(qiáng)度50

20X 強(qiáng)度70

100X 強(qiáng)度120

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計(jì)數(shù)器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測(cè)量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
[常見(jiàn)問(wèn)題]
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運(yùn)行狀以及測(cè)量結(jié)果時(shí)，因?yàn)槭窃诓煌瑔卧巷@示使操作變得非常繁瑣。
[STM7解決方案]
能一目了然確認(rèn)當(dāng)前狀態(tài)的計(jì)數(shù)器
計(jì)數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈，可以簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認(rèn)。X、Y和Z軸的zui小單位可以在
0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計(jì)數(shù)器
無(wú)論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺(tái)上，可拆卸式計(jì)數(shù)器都可以根據(jù)用戶(hù)的使用狀況和使用習(xí)慣放置在*位置。當(dāng)用戶(hù)站
著進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以將計(jì)數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè)，以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶(hù)通過(guò)數(shù)碼相
機(jī)在顯示器上進(jìn)行觀察和測(cè)量，或使用電動(dòng)Z軸調(diào)焦機(jī)型時(shí)，只需將計(jì)數(shù)器和操作裝置放在工作臺(tái)上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)
行作業(yè)。

計(jì)數(shù)器安裝在鏡架上

計(jì)數(shù)器放置在工作臺(tái)上

高度測(cè)量：聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測(cè)量
[[常見(jiàn)問(wèn)題]
進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者會(huì)測(cè)得不同的高度測(cè)量值。此外，這種測(cè)量方法非常耗時(shí)，效率低下。
[STM7解決方案]
具有*的重復(fù)性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內(nèi)，由操作者確認(rèn)上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測(cè)量操作。普通的目測(cè)觀察進(jìn)行高度測(cè)量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像，也會(huì)出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)，只需匹配標(biāo)記便可進(jìn)行測(cè)量，因此減少了操作者的主觀性對(duì)測(cè)量結(jié)果造成的影響。
目視高度測(cè)量

聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)

焦點(diǎn)下方

焦點(diǎn)位置

焦點(diǎn)上方

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢(shì)成就快速、高精度的高度測(cè)量
[常見(jiàn)問(wèn)題]
? 進(jìn)行目視測(cè)量時(shí)，不同的操作者得出的高度測(cè)量結(jié)果也會(huì)不一樣。
? 手動(dòng)高度測(cè)量需要操作者反復(fù)進(jìn)行移動(dòng)載物臺(tái)，使用旋鈕調(diào)焦的操作，這使測(cè)量既耗時(shí)又低效。
? 很難對(duì)微小的物體聚焦，比如引線。
[STM7解決方案]
快速、精準(zhǔn)的聚焦和不受操作者主觀影響的測(cè)量
奧林巴斯開(kāi)發(fā)了STM7系列的自動(dòng)聚焦單元，該單元在實(shí)現(xiàn)快速聚焦的同時(shí)，保障了的對(duì)焦重復(fù)性。因此，無(wú)論操作
者的經(jīng)驗(yàn)如何，均可以在很短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。無(wú)論操作者的經(jīng)驗(yàn)如何，使用STM7自動(dòng)對(duì)焦單元均可
以在zui短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高度精確的高度測(cè)量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定對(duì)焦，而小直徑的激光，也能保證對(duì)微小物體，比如引線的自動(dòng)對(duì)焦。
 

單次對(duì)焦模式
執(zhí)行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦?fàn)顟B(tài)轉(zhuǎn)為視場(chǎng)中心的清晰對(duì)焦。
跟蹤模式
啟用具有特色的追蹤模式后會(huì)隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對(duì)焦，即使在移動(dòng)工作臺(tái)的情況下，也可以始終保持合焦?fàn)顟B(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀察，從而*地提高了Z軸的測(cè)量效率。
拓寬了測(cè)量觀察范圍的配件
編碼物鏡轉(zhuǎn)換器

將編碼物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)與數(shù)碼照相機(jī)配套使用可以在觀察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率 時(shí)也能與軟件中記錄的校準(zhǔn)值和光強(qiáng)連動(dòng)調(diào)整設(shè)置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇。

MM6-EMO正像單目鏡筒
 

正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線的目鏡）配套使用。

STM7-FS腳踏開(kāi)關(guān)

實(shí)現(xiàn)了不需要用手進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸，使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測(cè)量。

SZ-LW61白光LED照明裝置

具有小型，輕便，使用壽命長(zhǎng)，功耗低等特點(diǎn)。此外，這款高性?xún)r(jià)比的LED照明單元也不會(huì)發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。

SZX2-ILR66+ SZX-RHS LED環(huán)形照明+手動(dòng)控制裝置

SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現(xiàn)SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨(dú)立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像。可以從13種模式中選擇*的照明。

旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)
使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的平行對(duì)齊。

STM7-RS100 STM7-CS100 100mm×100mm載物臺(tái)

STM7-RS200 STM7-CS200 200mm×200mm載物臺(tái)

STM7-RS300 STM7-CS300 300mm×300mm載物臺(tái)

測(cè)量支持系統(tǒng)
即使對(duì)復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡(jiǎn)單、更精確的測(cè)量
對(duì)于顯示測(cè)量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來(lái)說(shuō)，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測(cè)量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測(cè)量，奧林巴斯測(cè)量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。

*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

物鏡工作距離