Zeta-300 光學(xué)輪廓儀

澤塔Zeta-300基礎(chǔ)信息

型號(hào)：Zeta-300

產(chǎn)品：/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)

品牌：Zeta澤塔

簡(jiǎn)介：的3D成像及測(cè)試系統(tǒng)（為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備，是表面量測(cè)領(lǐng)域的選擇）

澤塔Zeta-300儀技術(shù)規(guī)格

Zeta-300產(chǎn)品尺寸(mm)

系統(tǒng)(長(zhǎng)X寬X高)：510x725x773

主機(jī)：381x457x102

顯示器：596x449x240

總重量：145lbs/65kg

Zeta-300性能配置 

3D成像:~1秒/點(diǎn)(ZiC)~10秒/點(diǎn)(ZSi)~25秒/點(diǎn)(ZDot)

像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合鏡配合100x物鏡)

***小Z軸步距:2nm(壓電陶瓷載臺(tái))13nm(Z軸精密絲杠傳動(dòng))

Z軸分辨率：0.5(ZSi)

13nm(Zdot)

重復(fù)性3：7nm(1σ)

Zeta-300系統(tǒng)配置 

相機(jī)選項(xiàng)：640x480,1024x768,1280x960

總放大率：35,000x(光學(xué)和數(shù)字放大)

系統(tǒng)光源：3個(gè)大功率白光LED

自動(dòng)載臺(tái)：150mmx150mm(XY方向)

Z軸測(cè)試范圍：40mm

澤塔Zeta-300特點(diǎn)

多功能光學(xué)測(cè)試模組

·Zeta-300測(cè)試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測(cè)試技術(shù)，滿足用戶各種領(lǐng)域的測(cè)試需求：

·ZdotTMZ點(diǎn)陣3維成像技術(shù)，是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù)

·ZIC干涉反襯成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)粗糙度表面的成像及量化分析

·ZSI白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡實(shí)現(xiàn)Z方向超高分辨率的測(cè)量能力

·Zx5白光干涉技術(shù)。保證Z方向高分辨率測(cè)量的同時(shí)，提供大視野范圍內(nèi)的測(cè)量和統(tǒng)計(jì)分析

測(cè)試速度快：1分鐘內(nèi)完成所有類型樣品的3D掃描成像及統(tǒng)計(jì)分析，其超高的分辨能力甚至可以對(duì)納米級(jí)的缺陷進(jìn)行成像。

操作簡(jiǎn)單：自動(dòng)化測(cè)試程序，一鍵式操作過(guò)程，測(cè)試菜單設(shè)置簡(jiǎn)單，30分鐘培訓(xùn)速成，結(jié)果輸出直觀。

澤塔Zeta-300應(yīng)用領(lǐng)域

Zeta-300測(cè)試系統(tǒng)支持多功能測(cè)試選項(xiàng)，根據(jù)客戶實(shí)際需求可配備自動(dòng)化機(jī)械手臂、全自動(dòng)分析軟件等。高精度和高重復(fù)性的設(shè)備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)***理想的選擇。如下為實(shí)際應(yīng)用舉例：LED,PSS&缺陷監(jiān)控，PSS和PR的圖案高度、寬度和周期 AOI缺陷測(cè)試，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空載臺(tái) ，微流體和MEMS器件結(jié)構(gòu)分析，透明或半透明的多層結(jié)構(gòu)分析高縱橫比結(jié)構(gòu)分析，如深溝壑、深井狀結(jié)構(gòu)等靈活的測(cè)試工具，如cursors和cross-sections

自動(dòng)化測(cè)試軟件包

·多點(diǎn)自動(dòng)序列量測(cè)

·多種不同視場(chǎng)的三維成像

·自動(dòng)圖像掃描及拼接

·自動(dòng)傾斜度及及波度補(bǔ)償

·自動(dòng)參考面放平自動(dòng)高度、尺寸、角度和面積測(cè)量。