奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡

奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡

現(xiàn)今智能手機產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展帶動了包括半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、印制電路板（PCB）等整個電子制造業(yè)的飛速進步。奧林巴斯新推出的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡具備優(yōu)異的光學性能、適合大樣品的檢測、*的人體工學設(shè)計等諸多優(yōu)點將會有助電子制造行業(yè)的發(fā)展更上一層樓。

奧林巴斯MX63/MX63L半導(dǎo)體檢測顯微鏡具備有如下的特點：

模塊化：全面可定制

新MX63/MX63L顯微鏡的模塊化設(shè)計讓檢測者能夠根據(jù)應(yīng)用需要選擇組件。兩款顯微鏡均按潔凈室應(yīng)用而設(shè)計，并符合SEMI S2/S8、CE和UL要求。所有電動組件均安裝在屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，鏡架、鏡筒以及其他部件均經(jīng)過防靜電處理。

人性化：滿足人體工學的設(shè)計

新MX63/MX63L顯微鏡采用人體工學設(shè)計，可以快速設(shè)置調(diào)整和簡易控制。更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制位于顯微鏡前面較低的位置，因此用戶在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無須松開對焦旋鈕。電動物鏡轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)迅速，在縮短檢測間隔時間的同時還可讓操作者的手始終在晶圓下方，降低可能存在的污染風險。 

憑借這些強大的觀察功能和簡單的操作特性，MX63/MX63L顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)快速高效的實現(xiàn)大尺寸樣品檢測。

從不可見到可見：MIX觀察與采集

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列*支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

長壽命高強度白色LED照明：始終*的色溫

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點，而且其穩(wěn)定的色溫為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

功能性：適合所有晶園尺寸

特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于zui大晶圓直徑200mm，MX63L可用于zui大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機，實現(xiàn)可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進行檢測。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域

利用*的圖像處理技術(shù)，高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生
成具有專業(yè)級的報告。

快速尋找焦點：聚焦輔助

在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無誤地實現(xiàn)諸如裸晶片之類低對比度樣品的對焦。在焦平面上的網(wǎng)格對焦讓您的樣品對焦更加簡單。

利用光強管理器和自動孔徑控制實現(xiàn)快速觀察

對于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

人體工學設(shè)計實現(xiàn)更快、更舒適的操作

更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。

從基本測量到高級分析

測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要。基于這一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成。可大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。

高效的報告創(chuàng)建
創(chuàng)建報告所用的時間常常比采集圖像和測量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報告。編輯非常簡單，報告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進行數(shù)碼變焦和倍率放大。報告文件大小適中，通過電子郵件進行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

獨立相機選項
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準完成。可大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中在檢測工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機的MX63系列是一套*的獨立系統(tǒng)。該相機采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進行基本測量工作的同時讓實驗室空間得到充分利用。

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。