D500/D600 一體化顯示氣體質(zhì)量流量計，帶控制功能

上海洪柯自動化儀表有限公司所生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量計MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC/氣體微流量流量計流量控制器/小流量氣體流量計流量控制器/帶控制功能的氣體流量計/分體型氣體質(zhì)量流量控制器/帶調(diào)節(jié)功能的氣體質(zhì)量流量計/一體化顯示氣體質(zhì)量流量計/數(shù)字式液晶顯示氣體質(zhì)量流量計流量控制器/高壓氣體質(zhì)量流量計流量控制器/耐溫100℃分體型氣體質(zhì)量流量計//高溫型氣體質(zhì)量流量控制器/高溫型氣體質(zhì)量流量計/耐溫100度/小流量氣體流量計/微流量氣體流量計/小流量氣體質(zhì)量流量計/微流量氣體質(zhì)量流量計/微流量氣體流量控制器/高壓氣體質(zhì)量流量計/高壓氣體質(zhì)量流量控制器/高壓氣體流量計/高壓氣體流量控制儀/高壓流量控制儀

上海洪柯自動化儀表有限公司推出的D系列氣體質(zhì)量流量計（Mass flow meter，簡稱MFM）/氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）用于測量/控制微小流量氣體流量。微流量氣體流量計/控制器小量程為0-2SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘)，大量程為0-2000SLM(標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘)，具有精度高、重復(fù)性好、量程寬、穩(wěn)定可靠等特點，在半導(dǎo)體集成電路、特種材料、石化、醫(yī)藥、真空等領(lǐng)域,廣泛用于鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體采樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器，也可以用在各類實驗室作為流量檢驗的標(biāo)準(zhǔn)流量計。

氣體質(zhì)量流量計MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC工作原理
氣體質(zhì)量流量計MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等構(gòu)成，用于測量潔凈氣體流量。
氣體質(zhì)量控制器MFC除了具有與MFM類似的各個部件外，還有一個流量調(diào)節(jié)閥及PID控制電路，它不但可以測量氣體流量，還可以控制氣體流量。
氣體通過質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量計）時，大部分氣體通過分流器，小部分氣體流過流量傳感器。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理直接測量氣體的質(zhì)量流量，并將流量傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器進行線性化處理，輸出與瞬時流量成正比的電壓信號0-5VDC。放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將比較后的差值電壓放大后去驅(qū)動控制閥門，PID閉環(huán)控制，使流過通道的氣體流量與設(shè)定的氣體流量相等。
在氣體壓力、溫度變化的情況下，氣體質(zhì)量流量計（氣體質(zhì)量流量控制器）能精確測量（控制）氣體流量。
因為氣體質(zhì)量流量計MFM/氣體質(zhì)量流量控制器MFC測得的是氣體的質(zhì)量流量而不是體積流量，其質(zhì)量流量單位通常表示為SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）或SLM（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）。