PI PicoCube XY（Z）壓電掃描儀-北京漢達(dá)森

PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀-北京漢達(dá)森

：PI(Physik Instrumente)
公司簡介：
   德國PI公司是運動和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
   PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺和執(zhí)行器，用于線性，旋轉(zhuǎn)和垂直運動或不同軸的組合。 PI因此將這些解決方案適應(yīng)客戶特定的應(yīng)用或提供用于運動和定位的成品子系統(tǒng)。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造
醫(yī)學(xué)工程
生物技術(shù)
工廠工程
表面計量
天文學(xué)

訂購信息：

P-363.2CD PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器

P-363.2CL PicoCube高精度XY向納米定位系統(tǒng)，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 掃描探針顯微鏡

§ 原子力顯微鏡

§ 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對chong擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動 導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實現(xiàn)極低的排氣率。

PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀-北京漢達(dá)森