俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/8/28 14:38:57
- 訪問次數(shù) 1086
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 | 俄歇電子能譜 | 10eV |
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俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征
簡介:
microCMA是一種緊湊型(2.75“CF安裝)柱面鏡式俄歇(AES,俄歇電子能譜)分析儀。
microCMA是30年來投入市場的*創(chuàng)新性的俄歇分析儀。
優(yōu)異性能:
2.75英寸法蘭安裝CMA,內(nèi)置3kV同軸電子槍。這兩項(xiàng)功能的結(jié)合使microCMA在競爭中脫穎而出。
microCMA安裝在2.75英寸法蘭上,這意味著它可以添加到大多數(shù)腔室,而無需向腔室添加另一個端口(大多數(shù)腔室有額外的2.75英寸端口可用)。
小型化還意味著,只需一個T形管和一個小型離子泵,而不是傳統(tǒng)的大型腔室,就可以制造出一個完整的系統(tǒng)。
同軸電子槍使樣品(彈性峰)易于對準(zhǔn),也無需電子槍(電子源、電源和法蘭)。
俄歇電子能譜儀(在線表面分析)-材料表征
技術(shù)參數(shù):
緊湊型2.75“CF法蘭安裝
同軸3kV電子槍
CeBix燈絲(運(yùn)行溫度低于Lab6)
USB控制
ASCII命令
經(jīng)驗(yàn)證的CMA設(shè)計
應(yīng)用領(lǐng)域:
表面分析
螺旋鉆/AES
薄膜分析
冶金學(xué)
半導(dǎo)體
原位
分子束外延
超高真空