Real RTP 100 真空快速退火爐-材料設備
- 公司名稱 科睿設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 Real RTP 100
- 產(chǎn)地 韓國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/12/10 8:15:32
- 訪問次數(shù) 3457
聯(lián)系方式:張垚13916855175 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
真空快速退火爐-材料設備
真空快速退火爐-材料設備(RTP)一般都是以紅外鹵素燈為發(fā)熱元件,升溫速度極快,采用熱電偶測溫并采用國際*的PID控制,具有很高的控溫精度,快速退火爐具有真空裝置,可在多種氣氛下工作。大大提高了其使用范圍。
儀器規(guī)格:
加熱方式:紅外鹵素鎢燈;
最大樣品尺寸: 2--6寸,單片;
最高溫度: 1200度;
工作氣體:最多3路氣體(MFC控制),可通入氧氣,氮氣及惰性氣體;
極限真空:5e-3torr;
真空泵:機械泵(可選配分子泵,干泵);
工藝控制:手動工藝控制;
循環(huán)水冷卻,提高降溫速度;
結(jié)構緊湊,經(jīng)濟實惠。
應用:
快速熱升溫工藝(熱退火);
薄柵氧化(納米器件);
低熔點壓焊(反應金屬壓焊);
硅化物構造;
硅化物界點構造等。