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MX63/MX63L半導(dǎo)體FPD/工業(yè)檢測顯微鏡
- 公司名稱 杭州全譜實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司-J
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/12/14 10:11:00
- 訪問次數(shù) 332
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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MX63/MX63L半導(dǎo)體FPD/工業(yè)檢測顯微鏡
MX63/MX63L半導(dǎo)體FPD/工業(yè)檢測顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法(DIC)、熒光法、紅外線法和深紫外線法,保證了的圖像分辨率和鮮明度。
· 考慮了檢查效率的設(shè)計(jì)
· 鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
· 軟件方案
· 支持缺陷檢測的多種功能
· 幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
半導(dǎo)體FPD /wafer檢查顯微鏡規(guī)格 | MX63L | MX63 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光/紅外/MIX觀察(4個(gè)定向暗場) | |||
反射/透射 | 反射/透射 | ||||
照明裝置 | 機(jī)身一體型(明視場,暗視場+1選件) | ||||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 白光LED/100 W鹵素/100 W汞燈 | |||
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |||
行程 | 32 mm | ||||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||||
最大樣本高度 | 30 mm | ||||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場微分干涉6孔 | |||
明暗視場微分干涉5孔 | |||||
明暗視場微分干涉6孔 | |||||
明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | |||||
手動(dòng)式 | - | ||||
載物臺(tái) | 行程 | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸有手柄 行程:356x284毫米 |
帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸有手柄
透射光照明區(qū)域:189毫米x189毫米 帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄
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觀察筒 | 廣角視場 | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 | ||
正像 | 三目觀察筒 | ||||
超寬視場 | 倒置 | 三目觀察筒 | |||
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||||
重量 | 64 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) | 50 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |