AirSentry® II 電子遷移率光譜儀

電子遷移率光譜儀

用于檢測空氣分子級污染（AMC)，在監(jiān)測到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳感器反應(yīng)迅速、監(jiān)測選擇性廣、性能穩(wěn)定。Air Sentry II傳感器配有*控制軟件，可以輕松地采集分析數(shù)據(jù)。Air Sentry II傳感器提供連續(xù)可追溯的數(shù)據(jù)，來快速回應(yīng)污染源和污染事件。

電子遷移率光譜儀

特點

• 酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測
• 使用點、多點式、移動式監(jiān)測應(yīng)用的通用產(chǎn)品配置
• 體積小，可放在任何位置
• 以太網(wǎng)，RS-232, 4-20毫安輸出

優(yōu)點

• 連續(xù)監(jiān)測關(guān)鍵點
• 耐久可靠的數(shù)據(jù)收集、控制、分析
• *數(shù)據(jù)穩(wěn)定性
• 低的每份測試成本

應(yīng)用

• 在蝕刻技術(shù)位置里的實時腐蝕監(jiān)測
• 在關(guān)鍵的光刻系統(tǒng)內(nèi)的實時胺類以及氨的監(jiān)測
• 化學(xué)過濾器有效率的資格確認(rèn)
• 遍及潔凈室以及生產(chǎn)工具里的污染源的追蹤和去除
• 前端開口片盒圓晶片存儲模塊內(nèi)的污染分析