NG-A-PCI高分辨率納米編碼器
- 公司名稱 深圳市真尚有科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2019/4/3 14:38:09
- 訪問(wèn)次數(shù) 548
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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NG-A-PCI高分辨率納米編碼器在X和Y方向上以10um作為基礎(chǔ)周期,整個(gè)計(jì)量系統(tǒng)則以5um的作為測(cè)量周期。NG用三相90-element的探測(cè)器從柵格中捕捉*階的激光通過(guò)衍射方式反射過(guò)來(lái)的信號(hào)。這三個(gè)信號(hào)為極小的移動(dòng)提供一個(gè)非常明確的測(cè)量相位。NG-A-PCI高分辨率納米編碼器是用于測(cè)量二維超精密的平面位移的測(cè)量系統(tǒng)。NG是一個(gè)XY網(wǎng)格編碼器系統(tǒng),湍流效應(yīng)是激光干涉儀經(jīng)常會(huì)遇到的,該系統(tǒng)也可以避免與相單獨(dú)線性尺度關(guān)聯(lián)的阿貝誤差。NG在制造柵格的過(guò)程中,能夠保證其達(dá)到激光干涉儀的精度,并且以一個(gè)更經(jīng)濟(jì)的價(jià)格、更實(shí)用和更堅(jiān)固的制造工藝來(lái)封裝它。
產(chǎn)品的特點(diǎn):
亞納米的分辨率;
重復(fù)性小于5nm;
低阿貝誤差;
對(duì)湍流效應(yīng)及大氣壓強(qiáng)變化不敏感;
占地面積小,重量輕;
可選真空版本;
易于安裝,包括柵格安裝的應(yīng)力消除;
柵格和探頭的間隙為12mm;
對(duì)準(zhǔn)誤差低;
完善的技術(shù)支持;可定制;
高速運(yùn)作。