化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>二手儀器>二手化工機(jī)械設(shè)備>二手輸送設(shè)備>STPH301C STPH451C 愛(ài)德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵
STPH301C STPH451C 愛(ài)德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵
參考價(jià) | ¥ 380000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 Edwards/英國(guó)愛(ài)德華
- 型號(hào) STPH301C STPH451C
- 產(chǎn)地 英國(guó)
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2019/4/21 12:19:40
- 訪問(wèn)次數(shù) 2090
愛(ài)德華真空泵愛(ài)德華分子泵維修愛(ài)德華STPH301C真空泵STPH451C渦輪分子泵愛(ài)德華二手真空泵
聯(lián)系方式:張小力13913143077 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
進(jìn)口真空泵,愛(ài)德華真空泵,萊寶真空泵,愛(ài)發(fā)科真空泵,好利旺真空泵,優(yōu)成真空泵,里其樂(lè)真空泵,龍挺真空泵,進(jìn)口真空泵油,真空泵零配件
泵軸位置 | 其他 | 抽氣速率 | 300l/s |
---|---|---|---|
極限壓力 | 10-7pa | 排出口徑 | KF40mm |
輸送介質(zhì) | 其他 | 葉輪數(shù)目 | 其他 |
重量 | 15kg |
英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STPH301C
概述
Edwards 的高性能 STPH301C 渦輪分子泵是為嚴(yán)苛的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。這種泵經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)的可靠性和性能可以實(shí)現(xiàn)大的制程靈活性。STPH301C 已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。愛(ài)德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵
應(yīng)用
- 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
- MBE
- 擴(kuò)散
- 光致抗蝕劑脫模
- 晶體/晶膜生長(zhǎng)
- 晶片檢查
- 負(fù)載鎖真空腔
- 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
- 高能物理:射束線、加速器
- 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢(shì)
良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)
更高的氣體吞吐量
大的制程靈活性
無(wú)油
低振動(dòng)
高度可靠
免維護(hù)
可用于嚴(yán)苛制程
使用壽命延長(zhǎng)
良好的控制器設(shè)計(jì)
自動(dòng)調(diào)整
自行診斷功能
直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
無(wú)電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計(jì)
占地面積小
半機(jī)架控制器
5 軸磁懸浮系統(tǒng)
無(wú)污染
少維護(hù) 愛(ài)德華STPH301C STPH451C渦輪分子真空泵
任意方向操作
技術(shù)數(shù)據(jù)
入口法蘭 ISO100K 出口 KF40 吹掃口 KF10 水冷卻接頭 PT1/4 抽速 N2 300 ls-1 H2 200 ls-1 壓縮比 N2 >108 H2 103 加熱時(shí)的極限壓力 10-7 Pa (10-9 Torr) 大連續(xù)出口壓力 660 Pa (5 Torr) 大氮?dú)馔掏铝?/td> 2500 sccm 額定速度 48000 rpm 啟動(dòng)時(shí)間 4 分鐘 高入口法蘭溫度 120 °C 輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或 200 至 240 (± 10) V 交流 功耗 0.6 kVA 泵重量 15 kg 控制器重量 9 kg
蘇州昆山太倉(cāng)無(wú)錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門(mén)如皋海門(mén)海安愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺(tái)州衢州愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
紹興金華寧波余姚福州廈門(mén)泉州深圳廣州珠海愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春吉林愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
濟(jì)南青島威海德州連云港昆明九江安慶愛(ài)德華STPH451C STPH301C 渦輪分子真空泵
一、進(jìn)口真空泵維修:
1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂(lè)):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛(ài)發(fā)科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、進(jìn)口真空泵配件銷(xiāo)售:
1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷(xiāo)、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、進(jìn)口真空油銷(xiāo)售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- EV-M20N EV-M102N 日本荏原干式真空泵EV-M20N EV-M102N維修
- STPA1603C STPA2203C 愛(ài)德華STPA1603C STPA2203C渦輪分子真空泵
- STPA803C STPA1303C 愛(ài)德華STPA803C STPA1303C渦輪分子真空泵
- STP1003 STP1003C 英國(guó)愛(ài)德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
- 愛(ài)德華T-Station 85分子渦輪真空泵維修
- STP301 STP603 英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
- STP-XA3203C STP-XA4503C 英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA3203C維修
- STP-XA2703C 英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP-XA2703C維修