EX2 自動橢圓偏振測厚儀

EX2自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）橢偏測量原理，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動測量型教學(xué)儀器。

EX2 自動橢圓偏振測厚儀適用于納米薄膜的厚度測量，以及納米薄膜的厚度和折射率同時測量。

EX2 自動橢圓偏振測厚儀還可用于同時測量塊狀材料（如，金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。

特點

• 經(jīng)典消光法橢偏測量原理

  儀器采用消光法橢偏測量原理，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程。

• 方便安全的樣品水平放置方式

  采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放。

• 緊湊的一體化結(jié)構(gòu)

  集成一體化設(shè)計，簡潔的儀器外形通過USB接口與計算機(jī)相連，方便使用。

• 高準(zhǔn)確性的激光光源

  采用激光作為探測光波，測量波長準(zhǔn)確度高。

• 豐富實用的樣品測量功能

  可測量納米薄膜的膜厚和折射率；塊狀材料的復(fù)折射率、樣品反射率、樣品透過率。