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CRYO-U30H標(biāo)準(zhǔn)低溫泵30型

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低溫泵

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寧波愛發(fā)科低溫泵有限公司

低溫泵 真空泵

應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),地礦,交通

CRYO-U30H標(biāo)準(zhǔn)低溫泵30型是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。

CRYO-U30H標(biāo)準(zhǔn)低溫泵30型的熱負(fù)載主要是氣體的凝結(jié)熱和周圍壁面對(duì)工作冷板的輻射熱。凝結(jié)熱與氣體種類有關(guān),對(duì)于 80K、133.322帕·升的氮?dú)饫淠?0K冷板上的凝結(jié)熱為0.3~0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者的4次方之差成正比。因此,4.2K和20K工作冷板均用50~100K的冷板來屏蔽,以減少工作冷板所接受的輻射熱。



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