簡介

Jordan Valley公司zui新設(shè)計的Delta-X是多功能的X射線衍射設(shè)備，可靈活應(yīng)用于材料科學(xué)研究、工藝開發(fā)、與生產(chǎn)質(zhì)量控制。Delta-X衍射儀的光源臺和探測臺的光學(xué)元件可以全自動化調(diào)控，并采用水平式樣品臺。Delta-X衍射儀可以在常規(guī)衍射模式、高分辨率衍射模式、X射線反射模式之間靈活切換。光學(xué)配置的切換*在菜單式程序控制下由計算機(jī)完成，無需手動操作。自動化切換和準(zhǔn)直不需要專門人員和操作設(shè)備，并確保每次切換都能達(dá)到zui佳的光學(xué)準(zhǔn)直狀態(tài)。

常規(guī)的樣品測量可以通過Delta-X衍射儀，實現(xiàn)部分、乃至*的自動化運(yùn)行，自動化測量程序可以依客戶需求進(jìn)行專門定制。也可采用*的手動模式操作Delta-X衍射儀，以便發(fā)展新測量方法，研究新材料體系。

數(shù)據(jù)分析或擬合可以作為測量程序的一部分，可實現(xiàn)*自動化，也可依據(jù)需要單獨(dú)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。 依半導(dǎo)體生產(chǎn)線的需求，將RADS和REFS擬合軟件以自動化模式運(yùn)行，允許在沒有用戶干擾的情況下自動完成常規(guī)性的數(shù)據(jù)分析，并直接完成數(shù)據(jù)擬合和結(jié)果輸出。RADS和REFS也可以單獨(dú)安裝，以便進(jìn)行更詳細(xì)的數(shù)據(jù)分析。

Delta-X衍射儀能滿足科學(xué)研究所和技術(shù)開發(fā)中心 不同材料體系的*測試需求。

Delta-X 衍射儀的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢

• 自動化進(jìn)行樣品準(zhǔn)直、測試、和數(shù)據(jù)分析
• 客戶可以自行設(shè)定測量的自動化程度
• 300mm的歐拉環(huán)支架(Eulerian Cradle)設(shè)計，高精度的樣品定位和掃描
• 300mm的晶片水平式放置，且可以完整mapping
• 100º的Chi軸傾轉(zhuǎn)范圍、無限制范圍的Phi軸旋轉(zhuǎn)空間，可實現(xiàn)極圖和殘余應(yīng)力測試
• 智能化的光學(xué)配置切換和準(zhǔn)直。依測量需要，自動選擇光學(xué)配置并實施光學(xué)準(zhǔn)直
• 工業(yè)界先的設(shè)備控制軟件和數(shù)據(jù)分析軟件
• 高分辨率測角儀，以保證精密且準(zhǔn)確的測量
• 高強(qiáng)度的光源臺設(shè)計和光學(xué)元件組合，以實現(xiàn)快速測量
• 多方面廣泛的測試技術(shù)和測量參數(shù)
• 由擁有超過30年的高分辨率X射線衍射經(jīng)驗的世jie級專家設(shè)計、制造，具有客戶經(jīng)驗。

Delta-X衍射儀的特點(diǎn)和優(yōu)勢

自動化控制的光學(xué)系統(tǒng):

Delta-X衍射儀的入射束包括多種標(biāo)準(zhǔn)的光學(xué)配置模式，以便使光學(xué)配置具有充分的靈活性，且易于操作。可以依據(jù)測量樣品的材料類型，選擇參考晶體。

• 標(biāo)準(zhǔn)模式：用于所有系統(tǒng)，平行束多層膜高反鏡
• 其他四種光學(xué)系統(tǒng)可以選擇和安裝：
  • Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)
  • Bragg-Brentano鏡 (Johannson光學(xué)元件)和一個參考晶體(二次反射)
  • 兩個獨(dú)立的參考晶體(二次反射)：參考晶體的材料類型和分辨率有多種設(shè)計供選擇，以便提供與測量zui匹配的分辨率。
  • 兩個參考晶體，以Bartels模式安裝
• 參考晶體和高反鏡均可自動化切換
• 不需要將參考晶體和高反鏡手動移出衍射儀，保證光學(xué)元件不被損壞、不偏離準(zhǔn)直狀態(tài)。
• 衍射儀的初始準(zhǔn)直易于操作，安全可靠，無需在設(shè)備內(nèi)開啟X射線操作。

樣品臺

可放置直徑≤300mm晶片或多個小尺寸晶片、樣品

Delta-X衍射儀的歐拉(Eulerian )環(huán)支架設(shè)計允許放置單個或多個晶片或樣品，并提供多個轉(zhuǎn)動軸的大范圍、高再現(xiàn)性的精確移動控制。

• 水平式樣品放置
• 可實現(xiàn)X和Y軸方向上，300mm內(nèi)的完整mapping測量，無邊緣測量失真的現(xiàn)象
• 10mm的Z軸高度范圍，即使對厚樣品也可以調(diào)整晶片高度，獲得zui佳測量位置
• 在樣品盤的不同位置，設(shè)計了均勻、無扭曲的真空輕度吸附，既適合大尺寸晶片放置，又適合獨(dú)立、小尺寸晶片的多片式放置
• 100°的Chi軸傾轉(zhuǎn)范圍，可實現(xiàn)完整的極圖和殘余應(yīng)力測量
• Phi軸的旋轉(zhuǎn)范圍無限制，可實現(xiàn)完整的極圖和面內(nèi)衍射測量

“邊緣至邊緣”全晶片測量 (無邊緣測量失真現(xiàn)象)

Delta-X衍射儀支持全晶片測量，無邊緣測量失真的現(xiàn)象。

特殊環(huán)境樣品臺

Delta-X衍射儀可選配高溫臺，并用于各種測試技術(shù)。

• 樣品尺寸≤25mm
• XRR/XRD/HRXRD等技術(shù)均可實現(xiàn)
• zui高溫度可達(dá)1100℃
• 可實現(xiàn)真空、空氣、特殊氣體等不同的測量環(huán)境
• 可實現(xiàn)溫度的計算機(jī)自動控制

探測臺

閃爍式高性能點(diǎn)探測器

探測系統(tǒng)具有顯著提高響應(yīng)特性等多方面的特點(diǎn)：

• EDRc (動態(tài)響應(yīng)范圍增強(qiáng)型)探測器的動態(tài)響應(yīng)范圍>2x107cps。配置全自動化衰減器后，動態(tài)響應(yīng)范圍可提高至5x108cps。
• 選配三軸分析晶體和Soller狹縫，可自動化準(zhǔn)直，以保障各項測量所需的分辨率。
• 馬達(dá)驅(qū)動的自動化探測狹縫。無需手動調(diào)整，即可控制探測臺的接收精度。
• 超快速掃描引擎和軟件。大范圍掃描可以在5秒內(nèi)完成。

性能的線探測器(選配件)

提供一維(1D)線探測器可供選擇，能實現(xiàn)束線信號的同步平行采集，能顯著提高XRD的測量速度。特別適用于小束斑條件下的XRD測量、和快速HRXRD倒易空間map測量。

• 自動化束線準(zhǔn)直