ST2000-DLXn 手動型膜厚測量儀

ST2000-DLXn 手動型膜厚測量儀規(guī)格                              
 波長范圍  400~800nm
 測量范圍  200?~ 35?(Depends on Film Type)
 透鏡大小  M5x,M10x
 測量光斑尺寸  40?，20?
 測量層數(shù) 3

 樣品臺尺寸 150mmX120mm
 X,Y,Z機(jī)制 
 輥式導(dǎo)板
 移動距離：70mmX50mm

 手動聚焦模塊  同軸粗微調(diào)焦控制
 可選部分 
 SRM(標(biāo)準(zhǔn)參考樣片)
 光學(xué)透鏡 M50X(光斑尺寸:4?)
 CCD攝像頭
 透射功能

ST2000-DLXn 手動型膜厚測量儀特征                              
快速測量&操作簡便
非接觸&非破壞性
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
基于用戶易操作的界面
各個視圖和儲存數(shù)據(jù)的打印功能
測量可達(dá)3層&測量精度良好
手動型

應(yīng)用領(lǐng)域                              
半導(dǎo)體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介質(zhì)材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏間隙，光刻膠與酰亞胺薄膜，石英
Optical Coating:Hardness涂層，增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料：光感導(dǎo)鼓，攝像頭，光盤...
其他：示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板，薄金屬膜，激光鏡,ALQ3...