TESCAN S9000X FIB-SEM雙束電鏡
- 公司名稱 上海永傲精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2019/10/11 14:51:20
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價格區(qū)間 | 400萬-500萬 | 儀器種類 | 場發(fā)射 |
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應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產業(yè),冶金,司法,綜合 |
TESCAN S9000X 是半導體和材料表征中具挑戰(zhàn)性的物理失效分析應用的平臺,具有*的精度和*的效率。 TESCAN S9000X 提供了納米尺寸結構分析所必需的高分辨率和表面靈敏度,為大體積 3D 樣品特性分析提供了很好條件。同時,它還提供的 FIB 功能,可實現精確、無損的超大面積加工,包括封裝技術和光電器件的橫截面加工。
當今半導體器件的物理故障分析已經成為一項極其復雜的任務,需要處理越來越小的具有更高密度和更高功能的器件。一般來說,隨著新納米技術和納米材料的發(fā)展以及集成電路的設計和體系結構的日益復雜,這就需要高度可靠的分析平臺,以跟上集成電路、光電器件的發(fā)展。TESCAN S9000X 是一個強大的 FIB-SEM 平臺,專門設計來應對這樣的挑戰(zhàn)。新一代 Triglav™ 鏡筒的探測器系統(tǒng)具有優(yōu)異的表面靈敏度和出色的對比度;另一方面,新的 iFIB+™ 離子鏡筒進一步的擴大了 Xe 等離子 FIB 應用領域,提升了大體積樣本微加工和 3D 微量分析的能力,并且縮短了加工時間。
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