IH600愛德華螺桿泵維修
- 公司名稱 東莞市鑰大真空設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/28 12:39:16
- 訪問次數(shù) 1591
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東莞市鑰大真空設備有限公司成立于2013年。座落于世界制造名城-廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)。公司以銷售進口真空泵，真空泵配件，進口真空泵維修和設計安裝真空*負壓系統(tǒng)的研究開發(fā)與生產、銷售的專業(yè)公司，生產和銷售的產品主要有：產銷鑰大單級旋片油式真空泵，無油活塞泵。并銷售德國(Leybold)萊寶、德國（Busch）普旭、德國（BECKER）貝克、德國（Rietschle）里其樂、英國（Edwards）愛德華、阿爾卡特 日本愛發(fā)科 等國外真空泵及真空泵油、真空泵配件。并有專業(yè)的維修服務團隊為客戶提供愛德華真空泵維修、萊寶真空泵維修、愛發(fā)科真空泵維修、阿爾卡特真空泵維修。公司以“科技保證質量，服務完善產品”的經營理念為廣大客戶提供優(yōu)質的真空泵產品和真空泵維修服務。
萊寶真空泵油、萊寶真空泵維修、 愛德華真空泵油、愛德華真空泵維修、愛發(fā)科真空泵維修、真空機組
| 供貨周期 | 一周 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
|---|
湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修，半導體真空泵維修保養(yǎng)。Edwards IH600系列干泵在環(huán)境（顆粒，腐蝕物）下有著高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間，無需潤滑，這樣就確保了油不會被反抽到系統(tǒng)中。IH600系統(tǒng)有一個HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系統(tǒng)適用于無風冷電機的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體系統(tǒng)，適用于制程物嚴重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統(tǒng)。另外，可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設備監(jiān)控器使用其他控制設備去操作IH干泵系統(tǒng)。 半導體晶圓廠的應用包括： LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學氣相沉積 高密度等離子體化學氣相沉積快速熱處理 大氣化學氣相沉積sacvd 鎢化學氣相沉積
等離子體增強化學氣相沉積 低壓化學氣相淀積。
規(guī)格參數(shù)：
Edwards IH600
項 目 參 數(shù)
Inlet Connection ISO 100
Outlet Connection NW40
Peak Speed 518 m3h1
8635 1min-1
305 CFM
Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr
Power bbbbb at vacuum 3.1 kW
Rated Motor Power 5.1 kW
Weight 913 kg/lbs.
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