JSM-7610FPlus熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

JSM-7610FPlus熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡*的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。

JSM-7610FPlus熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品特點(diǎn)

• *的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

  此外還具備利用GENTLEBEAM TM 模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過r-filter分選信號等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下：

   

  ◇ 半浸沒式物 鏡

   

  半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場，因而可以 獲得 超高分辨率。

   

   

   

   

   

  ◇ High Power Optics

  High Power Optics 是*的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

   

  浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基 場 發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，佳光闌角控制鏡（ALC） 在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來能提供 200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)， 從 高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨 率的小物鏡光闌而不需要改換。

   

  浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍銃   

   

  浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍通過和低像差聚光鏡組合，可 以 有效地 收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。

   

  佳光闌角控制鏡（ACL）

  光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個(gè)探針 電流范 圍內(nèi)自動優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品 的探針電流很 大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束 斑。

   

  即使探針電流很大，束斑直徑也很小

   

   

  長時(shí)間分析時(shí)穩(wěn)定度也很高

   

   

  ◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAM TM ）模式

   

  GB 模式的效果

   

  GB 模式在低電壓下提高分辨率

  左圖 一般模式，右圖GB模式