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HR系列 ulvacHR系列愛發(fā)科真空泵維修檢漏儀維修

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 蘇州希文控制科技有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào) HR系列
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時(shí)間 2020/3/17 9:16:17
訪問次數(shù) 543

產(chǎn)品標(biāo)簽

氦質(zhì)譜檢漏儀維修

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公司介紹 主營產(chǎn)品

蘇州希文控制科技有限公司坐落于蘇州工業(yè)新加坡工業(yè)園區(qū)，專注于各種類型真空泵配套，真空泵維修及真空泵配件耗材制造銷售。主要的真空泵維修品牌有：英國Edwards愛德華真空泵維修，德國Pfeiffer普發(fā)真空泵維修，德國Leybold萊寶真空泵維修，美國Agilent安捷倫真空泵維修，日本巖田真空泵維修，法國ALCATEL真空泵維修，日本愛發(fā)科ULVAC真空泵維修,瑞士VAT閥門等進(jìn)口真空泵維修，真空泵油及其配件耗材等。公司自成立以來以快速的反映能力，過硬的質(zhì)量，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，性價(jià)比高*。

展開

真空泵維修,檢漏儀維修,愛德華真空泵,pfeiffer真空泵

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

價(jià)格區(qū)間	80萬-100萬	儀器種類	氦質(zhì)譜檢漏儀（進(jìn)口）
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),地礦,交通,電氣

干式真空泵
LR / HR / UR系列

ulvacHR系列愛發(fā)科真空泵維修檢漏儀維修

LR180

干式真空泵LR / HR / UR系列通過使用我們*的高溫浸泡技術(shù)有效地利用壓縮熱，從而在CVD和蝕刻等堅(jiān)硬工藝中實(shí)現(xiàn)了高耐久性。在輕型過程中，與ECO-SHOCK結(jié)合使用，可以將功耗降低約80％。所有型號(hào)均兼容CE（可選），以提高可維護(hù)性并降低噪音。有關(guān)ECO-SHOCK的更多信息，請(qǐng)參閱“相關(guān)信息”。

特色功能

LR系列：
除在低溫范圍內(nèi)浸泡惰性氣體外，還適用于需要縮短排氣時(shí)間（特別是為了提高產(chǎn)量）的充放電室中的排氣。
HR系列/ UR系列：高溫下
通過CVD 浸泡，蝕刻等產(chǎn)生的可升華排氣物質(zhì)可以氣態(tài)排放
1000毫秒內(nèi)瞬間停電的對(duì)策
CE兼容（可選）

使用方法

活性氣體（CVD，干法蝕刻等）
惰性氣體排放（濺射，沉積，熱處理等）
減少裝卸室的排氣時(shí)間（LR系列）
產(chǎn)生粉末的過程中的排氣（拉單晶硅等）
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣，機(jī)械增壓泵）

規(guī)格書

類型名稱

LR / HR
60

LR / HR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

UR
421-T

LR / HR
300

LR / HR
600

UR
600

LR / HR
1200

UR
1200

二手泵

DRP

LR / HR
60

LR / HR
90

LR
180

LR
421

LR
421-T

UR
421-T

LR / HR
60

LR / HR
90

UR
90

LR / HR
90

UR
90

MBP

－

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

大抽速

m ³ /小時(shí)

50赫茲

112

183

440

410

359

653

1012

60赫茲

126

237

365

701

1051

升/分鐘

50赫茲

1030

1860年

3100

7333

6833

5980

10900

10883

16900

16867

60赫茲

1333

2100

3950

6080

11700

17500

極限壓力

帕

5.0

0.67

大排氣壓力（吸氣壓力）

大氣壓*

大出口壓力（排出壓力）

1Pa至大氣壓

入口（CE規(guī)格）

VG50
（KF40）

VG80（KF50）

VG100

VG80（KF80）

VG100（KF100）

排氣口

KF40

VG50

KF40

干泵表面處理

○

機(jī)械增壓泵表面處理

○*

○

○*

○

彌撒

公斤

180

245

335

415

251

371

403

電力

三相

交流電
（Hz）

200（50/60），220（60）

180-240 / 380-440（50/60）

200（50/60），220（60）

現(xiàn)值

常規(guī)的

一

6.9 / 7.1

11.2

18.9

20.8

7.0 / 7.8

12.3 / 12.9

16.4

13.7 / 15.4

18.9

大值

一

7.0 / 7.3

11.8

20.6

48.5

52.5

9.6 / 8.1

19.0 / 13.8

17.3

24.2 / 18.9

22.4

冷卻水一次壓力

兆帕

0.1至0.3

0.2至0.5

0.1至0.3

冷卻水入口/出口壓差

兆帕

> 0.1

> 0.2

> 0.1

冷卻水流量

升/分鐘

> 5.0

> 4.0

> 5.0

吹掃氣體

一次壓力

兆帕

0.1-0.5

二次壓力

兆帕

0.05-0.1

N ₂吹掃

軸數(shù)

SLM

加斯伯勒

SLM

0-45

無* 1

0-45

0-195

0-45

*訂購時(shí)請(qǐng)注明工作電壓。
*請(qǐng)勿在吸入壓力為200Pa或更高的壓力下連續(xù)操作HR300，HR / UR600和HR / UR1200。泵溫度可能會(huì)異常，并且互鎖裝置可能會(huì)運(yùn)行。
*對(duì)于LR300，LR600，LR1200，UR600，UR1200，UR1800，UR3601-TT的MBP，可以選擇是否進(jìn)行表面處理。
* JIS法蘭是進(jìn)氣口的標(biāo)準(zhǔn)配置。符合CE的NW類型。
* 1可以根據(jù)應(yīng)用估算可以使用氣體玫瑰的規(guī)格。

類型名稱			LR1800	UR1800	LR3601	LR3601-TT	LR3601-R	LR3601-TR（TTR）	UR3601-TT
二手泵	DRP		LR180	UR180	LR421	LR421-T	LR421	LR421-T	UR421-T
	MBP		PRC-018A		PRC-036C	PRC-036C（-T）	PRC-036D	PRC-036D（DT）	PRC-036C-T
大抽速	m ³ /小時(shí)	50赫茲	1701	1701	3200				2700
		60赫茲	1784年
	升/分鐘	50赫茲	28350	28350	53333				45000
		60赫茲	29700
極限壓力	帕		0.67
大排氣壓力（吸氣壓力）			大氣壓*
大出口壓力（排出壓力）			1Pa至大氣壓
進(jìn)口*			VG150（KF100）	VG150
排氣口			KF40		KF50
干泵表面處理			○	○	○	○	○	○	○
機(jī)械增壓泵表面處理			○*	○	×	T：×TT：○	×	TR：×TTR：○	○
彌撒	公斤		553		660	720	660	720	720
電力	三相	交流電（Hz）	200（50/60），220（60）		180-240 / 380-440（50/60）
現(xiàn)值	常規(guī)的	一	21.4	29.2	31		35.4		39.8
	大值	一	39.8	34.9	58.4		82		68.3
冷卻水一次壓力	兆帕		0.1至0.3		0.2至0.5
冷卻水入口/出口壓差	兆帕		> 0.1		> 0.2
冷卻水流量	升/分鐘		> 5.0		> 4.0				> 5.0
吹掃氣體	一次壓力	兆帕	0.1-0.5
	二次壓力	兆帕	0.05-0.1
N ₂吹掃	軸數(shù)	SLM	5
	加斯伯勒	SLM	0-45	0-195	無* 1	0-45	無* 1	0-45	0-195

■消音器（可選）

型號(hào)	材質(zhì)	表面處理	重量（公斤）	連接法蘭
RS-01	SUS304	GBB處理	4.1	NW40
RS-02	SUS304	GBB處理	8.3	NW40
RS-03	SUS304	拋光板	12.5	NW50

■型號(hào)兼容性表

套件名稱	適用機(jī)型	夾鉗	外圈	連接管道	留下來
RS-01套件A	LR60，LR90，LR300	1個(gè)	1個(gè)	--	--
RS-01套件B	LR600，LR1200	兩個(gè)	兩個(gè)	1個(gè)	1個(gè)
RS-02套件A	LR180（LR60，LR90，LR300）	兩個(gè)	兩個(gè)	1個(gè)	1個(gè)
RS-02套件B	LR1800（LR600，LR1200）	兩個(gè)	兩個(gè)	1個(gè)	1個(gè)
RS-03套件A	LR421（-T）	1個(gè)	1個(gè)	1個(gè)	1個(gè)
RS-03套件B	LR3601（-T / TT / R / TR / TTR）	三	三	1個(gè)	1個(gè)

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