T-200 8寸晶圓探針臺(tái)系統(tǒng)
- 公司名稱 成都測(cè)芯科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號(hào)T-200
- 所在地成都市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間2023/3/1 16:20:03
- 訪問次數(shù) 386
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科研、生產(chǎn)、旗艦型探針臺(tái)T-200型
樣品臺(tái)材質(zhì):鋁合金、PTFE、陶瓷、鍍金(可選)
樣品臺(tái)尺寸:6、8、12英寸 ,全吸附孔設(shè)計(jì)。
光學(xué)倍率:20X~50X/100X/500X/1000X(選配)
臺(tái)面具有一桿升降、帶探針預(yù)接觸功能、探針懸浮功能
臺(tái)面升降功能:0~0.25mm/40mm/50mm(可調(diào))
顯微鏡單元具備氣動(dòng)升高功能,可升高60mm。
Chuck具有一桿升降、微調(diào)升降功能
Chuck具有可360度旋轉(zhuǎn),可±5度精細(xì)微調(diào)
Chuck具有快速位移功能 (X軸、Y軸)
標(biāo)配3個(gè)樣品臺(tái),分別應(yīng)用于晶圓、晶粒(單顆芯片)、MEMS模組(或校準(zhǔn)片)
針座平臺(tái)C型設(shè)計(jì),可放置4~8個(gè)探針座
整體:670mm長(zhǎng)*755mm寬*572mm高
重量:約100千克