氣路系統(tǒng)

       氣路盤(pán)是七星流量計(jì)開(kāi)發(fā)的氣路輸送系統(tǒng)的解決方案，該產(chǎn)品通過(guò)對(duì)氣路原理圖的設(shè)計(jì)，加工和測(cè)試，以隔膜閥，調(diào)壓閥，壓力傳感器，過(guò)濾器，MFC等零部件實(shí)現(xiàn)對(duì)多種工藝氣體的壓力調(diào)節(jié)，純度過(guò)濾，流量控制等功能，目前市場(chǎng)上常用的為傳統(tǒng)VCR型氣路盤(pán)和氣體輸送集成控制系統(tǒng)(Integrated Gas System)，即IGS氣路盤(pán)，這兩種氣路盤(pán)業(yè)務(wù)七星流量計(jì)都有能力承接。

　　隨著半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展，對(duì)零部件小型化的提出了更高的要求，傳統(tǒng)的VCR氣路盤(pán)難以滿足要求，IGS型氣路盤(pán)應(yīng)運(yùn)而生，它具有氣體直方向運(yùn)輸，體積小，便于安裝維護(hù)等特點(diǎn)，是未來(lái)氣路輸送系統(tǒng)發(fā)展的方向;經(jīng)過(guò)MFC多年研發(fā)經(jīng)驗(yàn)的沉積，七星流量計(jì)的IGS氣路盤(pán)具有高密封性，高精度，集成度高等優(yōu)點(diǎn)，并可以依托七星流量計(jì)建立的特氣實(shí)驗(yàn)室對(duì)特殊氣體進(jìn)行研究測(cè)量，保證IGS氣路盤(pán)的特殊氣體控制的高準(zhǔn)確性。

氣路系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)：

• 提供定制化服務(wù)。

七星流量計(jì)具有IC級(jí)復(fù)雜氣路盤(pán)的設(shè)計(jì)能力，可以按照客戶(hù)的需求進(jìn)行氣路盤(pán)的設(shè)計(jì)更改和定制化服務(wù)。

• 多年的MFC生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，保證氣路盤(pán)的品質(zhì)。

七星具有多年研發(fā)和生產(chǎn)MFC的經(jīng)驗(yàn)，可嫁接到氣路盤(pán)的設(shè)計(jì)和生產(chǎn)中，對(duì)氣路盤(pán)的裝配和測(cè)試工藝不斷優(yōu)化，保證氣路盤(pán)的品質(zhì)。

• 良好的性?xún)r(jià)比。

同等難度的氣路盤(pán)，七星流量計(jì)的*同類(lèi)競(jìng)品。