FR系列 涂層薄膜厚度測量、光學參數(shù)測量、薄膜表征

廠家正式*代理商：岱美有限公司

ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希臘雅典，是NCSR&＃39;Demokritos&＃39;的微電子研究所的一家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在幾埃到幾毫米的超寬范圍內(nèi)，準確而同時地測量堆疊的薄膜和厚膜的厚度和折射率。

        FR-Mic: 微米級薄膜表征-厚度，反射率，折射率及消光系數(shù)測量儀

一、產(chǎn)品簡介：

     FR-Mic 是一款快速、準確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計算機控制的 XY 工作臺，使其快速、方便和準確地描繪樣品的厚度和光學特性圖。o 實時光譜測量o 薄膜厚度，光學特性，非均勻性測量，厚度映射o 使用集成的， USB 連接高品質(zhì)彩色攝像機（CCD）進行成像 


 

二、應(yīng)用領(lǐng)域

o   大學 & 科研院所

o   半導體（氧化物、氮化物、硅、電阻等）

o   MEMS 元器件 (光刻膠、硅薄膜等)

o   LED

o   數(shù)據(jù)存儲元件

o   彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫(yī)學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

o   其他更多 …

(如有需求，請與我們?nèi)〉寐?lián)系)

三、產(chǎn)品特點
o 單點分析(無需預(yù)設(shè)值）
o 動態(tài)快速測量
o 包括光學參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預(yù)存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

 FR-Scanner 自動化超高速精準薄膜厚度測量儀

一、產(chǎn)品簡介：

       FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具，適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準確測量薄膜特性:厚度，折射率，均勻性，顏色等。真空吸盤可應(yīng)用于任何直徑或其他形狀的樣片。

       *的光學模塊可容納所有光學部件:分光計、復(fù)合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此，在準確性、重現(xiàn)性和*穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。FR-Scanner 通過高速旋轉(zhuǎn)平臺和光學探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標掃描)。通過這種方法，可以在很短的時間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的精確反射率數(shù)據(jù)，這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。
測量 8” 樣片 625 點數(shù)據(jù)<60 秒

 

二、應(yīng)用領(lǐng)域

o      彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o      聚合物涂層、粘合劑等

o      生物醫(yī)學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

o     半導體生產(chǎn)制造：(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu)， poly-Si,Si, DLC )
o      光伏產(chǎn)業(yè)
o      液晶顯示
o      光學薄膜
o      聚合物
o      微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
o      基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、產(chǎn)品特點
o 單點分析(無需預(yù)設(shè)值）
o 動態(tài)快速測量
o 包括光學參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預(yù)存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

FR-Scanner: 自動化超高速薄膜厚度測量儀

FR-pOrtable:一款USB驅(qū)動的薄膜表征工具 

一、產(chǎn)品簡介：

       FR-pOrtable 是 一 款獨 特 的 便 攜 式 測 量 儀器 ， 可 對 透 明 和 半 透明 的 單 層 或 多 層 堆 疊薄 膜 進 行 精 確 的 無 損（非接觸式）表征。使用 FR-pOrtable，用戶可以在 380-1020nm 光譜范圍內(nèi)進行反射率和透射率測量及薄膜厚度測量。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

o   大學 & 科研院所

o   半導體（氧化物、氮化
物、硅、電阻等）

o   MEMS 元器件 (光刻膠、
硅薄膜等)

o   LED

o   數(shù)據(jù)存儲元件

o   彎曲基材（襯底）上的
硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫(yī)學
（ parylene—— 派瑞林,
氣泡壁厚,等等 )

o   其他更多 …
(如有需求，請與我們?nèi)〉寐?lián)系)

三、應(yīng)用領(lǐng)域

FR-pOrtable的緊湊尺寸以及定制設(shè)計的反射探頭以及寬帶長壽命光源確保了高精度和可重復(fù)的便攜式測量。

FR-Portable既可以安裝在提供的載物臺上，也可以輕松轉(zhuǎn)換為手持式厚度測量工具。放置在待表征的樣品上方即可進行測量。

FR-Portable是用于工業(yè)環(huán)境（如R2R、帶式輸送機等）中涂層實時表征的可靠而精確的測厚儀。

四、產(chǎn)品特點
o 一鍵分析 (無需初始化操作)
o 動態(tài)測量
o 測量光學參數(shù)(n & k, 顏色)，膜厚
o 自動保存演示視頻
o 可測量 600 多種不同材料
o 用于離線分析的多個設(shè)置
o 免費軟件更新服務(wù) 

五、技術(shù)參數(shù)

FR-pRo: 按需可靈活搭建的薄膜特性表征工具

一、產(chǎn)品簡介：

      FR-pRo 是一個模塊化和可擴展平臺的光學測量設(shè)備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層.FR-pRo 是為客戶量身定制的，并廣泛應(yīng)用于各種不同的應(yīng)用 。

      FR-pRo 可由用戶按需選擇裝配模塊，核心部件包括光源，光譜儀（適用于 200nm-2500nm 內(nèi)的任何光譜系統(tǒng)）和控制單元，電子通訊模塊
此外，還有各種各種配件，比如:
? 用于測量吸收率/透射率和化學濃度的薄膜/試管架,
? 用于表征涂層特性的薄膜厚度工具,
? 用于控制溫度或液體環(huán)境下測量的加熱裝置或液體試劑盒,

? 漫反射和全反射積分球

通過不同模塊組合，終的配置可以滿足任何終端用戶的需求 


 

二、應(yīng)用領(lǐng)域（涂層薄膜厚度測量、光學參數(shù)測量、薄膜表征）

o   彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫(yī)學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

O    半導體生產(chǎn)制造：(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu)， poly-Si,Si, DLC )
o     光伏產(chǎn)業(yè)
o     液晶顯示
o     光學薄膜
o     聚合物
o     微機電系統(tǒng)和微光機電系統(tǒng)
o     基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、產(chǎn)品特點
o 單點分析(無需預(yù)設(shè)值）
o 動態(tài)快速測量
o 包括光學參數(shù)(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預(yù)存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術(shù)參數(shù)

 （涂層薄膜厚度測量、光學參數(shù)測量、薄膜表征）