DektakXT臺(tái)階儀,表面輪廓儀

DektakXT臺(tái)階儀,表面輪廓儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新的設(shè)計(jì)，可以提供更高的重復(fù)性和分辨率，測(cè)量重復(fù)性可以達(dá)到5埃。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過(guò)去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測(cè)量，通過(guò)在研究工作中的廣泛使用，DektakXT一定能夠做到功能更強(qiáng)大，操作更簡(jiǎn)易，檢測(cè)過(guò)程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)突破，使納米尺度的表面輪廓測(cè)量成為可能，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。

DektakXT臺(tái)階儀,表面輪廓儀設(shè)計(jì)

探針系統(tǒng)的評(píng)價(jià)體系受三個(gè)因素影響：能否重復(fù)測(cè)量，數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢，操作的難易程度。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率。DektakXT利用全新結(jié)構(gòu)和和軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)可重復(fù)、時(shí)間短、易操作這三個(gè)必要因素，達(dá)到儀器使用效果。

強(qiáng)化操作的可重復(fù)性 Delivering Repeatable Measurements

DektakXT在設(shè)計(jì)上的幾個(gè)提高，使其在測(cè)量臺(tái)階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn)，臺(tái)階高度重復(fù)性可以到達(dá)5?.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響。同時(shí)，Bruker還對(duì)儀器的智能化電子器件進(jìn)行完善，提高其穩(wěn)定性，降低溫度變化對(duì)它的影響，并采用*進(jìn)的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會(huì)把可能引起誤差的噪音降到很低，DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實(shí)現(xiàn)對(duì)高度小于10nm的臺(tái)階的掃描。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了掃描臺(tái)的噪音，增強(qiáng)了穩(wěn)定性，使其成為一個(gè)有競(jìng)爭(zhēng)力的臺(tái)階儀（表面輪廓儀）。

提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis

利用*的直接掃描平臺(tái)，DektakXT通過(guò)減少?gòu)牡玫皆紨?shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時(shí)間，來(lái)提高掃描效率。這一改進(jìn)，大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對(duì)于表面應(yīng)力長(zhǎng)程掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復(fù)性的前提下，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時(shí)的數(shù)據(jù)分析處理效率。Vision64還具有有效直觀的用戶界面，簡(jiǎn)化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置，可以自動(dòng)完成多掃描模式，使很多枯燥繁復(fù)的實(shí)驗(yàn)操作變得更快速簡(jiǎn)潔。

完善的操作和分析系統(tǒng) PerfectingOperationand Analysis

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上實(shí)用簡(jiǎn)潔的用戶界面，具備智能結(jié)構(gòu)，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡(jiǎn)便的實(shí)現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

DektakXT 技術(shù)參數(shù)

—臺(tái)階高度重復(fù)性5?

—Single-arch設(shè)計(jì)大大提高了掃描穩(wěn)定性

—前置敏化器件，降低了噪音對(duì)測(cè)量的干擾

—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

—64-bit，這一Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍。

功能強(qiáng)大，操作簡(jiǎn)易

—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡(jiǎn)便易行

—針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)讓用戶更換針尖不再是難事

臺(tái)階儀（表面輪廓儀）領(lǐng)域無(wú)可撼動(dòng)的地位

—布魯克的臺(tái)階儀，體積輕巧，功能強(qiáng)大。

—單傳感器設(shè)計(jì)提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍

應(yīng)用領(lǐng)域：MEMS、太陽(yáng)能、芯片、光刻、刻蝕、鍍膜、LED、微電子、觸摸屏等領(lǐng)域。

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