SENTECH臺式薄膜探針反射儀FTPadv

SENTECH臺式薄膜探針反射儀FTPadv

 簡易的膜厚測量

通過選擇合適的配方，FTPadv反射儀以小于100ms的測量速度、精度小于0.3nm、厚度范圍為50nm-25μm的精度進行厚度測量。

*的自動建模

通過測量反射光譜和光譜數據庫的比較，將測量誤差減到很小。

光譜橢偏SE為基礎的材料數據庫

基于SENTECH的橢偏光譜測量的大型材料庫為測量新材料的光學常數提供了配方。

SENTECH臺式薄膜探針反射儀FTPadv

應用

二十年來，SENTECH已經成功地銷售了用于各種應用的薄膜厚度探針FTPadv。這種臺式反射儀的特點是不管在低溫或高溫下，在工業(yè)或研發(fā)環(huán)境中，都能通過遠程或直接控制，對小樣品或大樣品進行實時或在線厚度測量。

臺式反射儀FTPadv、可重復地測量反射和透明襯底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以結合在顯微鏡上，或者配備有穩(wěn)定的光源，用于測量厚度達到25 µm (根據要求可更厚)的膜層。更具備了從SENTECH光譜橢偏儀經驗中受益的預定義的、經由客戶驗證的、以及隨時可以使用的應用程序的廣泛數據庫。

FTPadv的特征在于對來自疊層樣品的任何膜層的厚度進行測量，使得FTPadv成為膜厚測量的理想成本效益的解決方案。用于工藝控制的FTPadv包括具有采樣器的光纖束、具有鹵素燈的穩(wěn)定光源以及FTP光學控制站。局域網連接到PC允許了遠程控制的FTPadv在工業(yè)應用，如惡劣環(huán)境，特殊保護空間或大型機械。

反射儀FTPadv帶有大量預定義的配方，例如半導體上的介質膜、半導體膜、硅上的聚合物、透明襯底上的膜、金屬襯底上的膜等等。*的自動建性允許通過與光譜庫的快速比較來檢測樣本類型。該反射儀將操作誤差減到很小。用光學反射法測量膜厚從未如此容易。

SENTECH FTPadv菜單驅動的操作軟件允許單層和疊層結構的厚度測量，具有*的操作指導。此外，它還具有強大的分析工具和出色的報告輸出功能。附加的自動掃描軟件可用于控制電動樣品臺。將軟件升級到用于反射測量的高級分析的軟件包FTPadv EXPERT，即可應用于具有未知或不恒定光學特性的材料。因此，單層薄膜厚度測量以及折射率和消光系數分析是可實現的。