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MFC-E系列可控制、經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園,孵化自山東大學(xué)。公司以氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器(MFC)、薄膜真空計(jì)(Vacuum Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營(yíng)業(yè)務(wù),通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段,實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展,助力國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
公司現(xiàn)有發(fā)明Z利21項(xiàng),實(shí)用新型12項(xiàng),計(jì)量證書、CE認(rèn)證、TUV EMC認(rèn)證、防爆認(rèn)證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)以及國內(nèi)儀器儀表企業(yè),全力打造國內(nèi)研發(fā)團(tuán)隊(duì)。
公司獲評(píng)國家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè),承建有青島市先進(jìn)傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、青島市先進(jìn)氣體流量測(cè)控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu),并承擔(dān)多項(xiàng)科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點(diǎn)項(xiàng)目等國家及省部級(jí)技術(shù)攻關(guān)課題。

公司現(xiàn)有千級(jí)和萬級(jí)潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳、濰坊等地設(shè)有制造基地和研發(fā)中心,全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力,并提供專業(yè)的售前售后服務(wù)。

 

 

 

質(zhì)量流量控制器,質(zhì)量流量計(jì)

應(yīng)用領(lǐng)域 化工

MFC-E系列可控制、經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)*的微機(jī)電(MEMS)流量傳感器芯片技術(shù),結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法,所開發(fā)的一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有進(jìn)口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等,具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。操作使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。輸出信號(hào)可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號(hào),以及RS485等數(shù)字通信方式。

MFC-E系列可控制、經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器應(yīng)用于:半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理 、食品和制藥、化工(石化)等過程控制

產(chǎn)品特點(diǎn):

溫度和壓力不敏感

*的零點(diǎn)穩(wěn)定性

超快的響應(yīng)速度

良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性

多種信號(hào)輸出方式

配備進(jìn)口比例電磁閥




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