HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器

HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器

S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹

 氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為 MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。

S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）

   特點(diǎn)： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

              ☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈等為重要零部件，均執(zhí)行 嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。 ☆具有精度高、重復(fù)性好、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。

              ☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì) 量。

 S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）主要應(yīng)用領(lǐng)域：

    半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；   

    分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；

    各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

    環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；

    化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制；

    特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

    混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。

S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品規(guī)格

   S48 系列質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)） 質(zhì)量流量計(jì)，用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量測(cè)量計(jì)量； 質(zhì)量流量控制器，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量計(jì)量功能，還具有自動(dòng)控制氣 體的質(zhì)量流量功能。

  主要技術(shù)指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）流量出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。 質(zhì)量流量單位為：標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) mL/min（毫升/分鐘） （SCCM 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）； 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) L/min （升/分鐘） （SLM 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）。 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃） 氣壓----101325Pa（1atm） F.S.(Full Scale)：表示滿量程值

HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器