kSA SpectR 光譜反射率測(cè)試儀
- 公司名稱 巨力光電(北京)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/7/4 16:25:50
- 訪問次數(shù) 3584
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
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kSA SpectR 光譜反射率測(cè)試設(shè)備是一種用于測(cè)量光譜絕對(duì)反射率,L*a*b*成色值和生長(zhǎng)速率的非接觸式測(cè)量設(shè)備。該工具具有多種在線監(jiān)控和過程控制的應(yīng)用功能,包括垂直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL),分布式布拉格反射器(DBR)和其他一些復(fù)雜的設(shè)備結(jié)構(gòu)。該設(shè)備主要應(yīng)用于監(jiān)控測(cè)量sputtering,MBE和MOCVD等薄膜生產(chǎn)研究。
kSA SpectR 光譜反射率測(cè)試設(shè)備的光學(xué)鏡組被配置為鏡面反射的幾何形狀。在這種測(cè)量原理中,薄膜每生長(zhǎng)出一個(gè)新layer,程序就會(huì)自動(dòng)擬合,將已有的所有基底和薄膜layer視為一個(gè)新的虛擬基底。kSA SpectR可以同時(shí)以多個(gè)波長(zhǎng)進(jìn)行測(cè)量,每個(gè)波長(zhǎng)都具有潛在的特性。此設(shè)備可在選定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)測(cè)量自定義光譜特征,如反射率的最小值、最大值、拐點(diǎn)或基線散射水平。
測(cè)量實(shí)例
850 nm DBR的光譜反射率
在GaAs襯底上生長(zhǎng)250nm的AlAs和500nm的GaAs時(shí),532和940nm下的反射率及其擬合曲線
AlAs生長(zhǎng)期間的生長(zhǎng)速率,光學(xué)常數(shù)和反射率實(shí)時(shí)擬合曲線
AlAs和GaAs生長(zhǎng)的未經(jīng)校正的高溫計(jì)測(cè)量結(jié)果和經(jīng)過校正的ECP溫度
GaAs薄膜生長(zhǎng)過程中單個(gè)反射率振蕩周期圖