FPSIN-WCT-120 晶圓少子壽命測量儀
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 FPSIN-WCT-120
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/shouming.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/11 11:24:02
- 訪問次數(shù) 1055
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這款晶圓少子壽命測量儀是專業(yè)為晶圓少數(shù)載流子復合壽命測量設計的少子壽命測試儀器。
晶圓少子壽命測量儀采用半標準準穩(wěn)態(tài)光電導壽命測量方法QSSPC技術和瞬態(tài)光電導衰退技術測量在10ns~10ms范圍的少子壽命。其中準穩(wěn)態(tài)光電導壽命測量方法QSSPC非常適合監(jiān)測多晶硅晶圓,摻雜擴散和低壽命樣品。瞬態(tài)光電導衰退適合較高少子壽命的晶圓測量。準穩(wěn)態(tài)光電導壽命測量方法QSSPC技術壽命測量也得出隱含開路電壓(對照度)曲線,與I-V曲線相當。
晶圓少子壽命測量儀特色
•單鍵識別硅片的關鍵特性,包括片材電阻,壽命,陷阱密度,發(fā)射極,飽和電流密度,電壓
•校準載流子壽命與注入水平產(chǎn)生,結果是普遍的認可的
晶圓少子壽命測量儀應用
主要用途:逐步監(jiān)測晶圓 以及制造工藝的優(yōu)化
其他應用:
•監(jiān)控初始材料質(zhì)量
•檢測過程中的重金屬污染
晶圓加工
•評估表面鈍化和發(fā)射極摻雜擴散
•使用隱含的I-V測量
晶圓少子壽命測量儀規(guī)格參數(shù)
可測值:壽命,電阻率,發(fā)射極飽和電流密度,陷阱密度,一個太陽Voc
壽命測量范圍:100 ns到大于10 ms
測量(分析)模式:準穩(wěn)態(tài)光電導壽命QSSPC、瞬態(tài)壽命和廣義壽命分析
電阻率測量范圍:3–600)歐姆/平方英寸,(未摻雜)
可用光偏壓范圍:0–50個太陽
典型校準注射范圍:10^13~10^16 cm^-3
可用光譜: 白光和紅外照明
傳感器面積: 40mm直徑
樣本大小,標準配置: 標準直徑:40–210mm
晶圓厚度范圍: 10–2000μm(校準),可測量其他厚度