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NE-550EX 刻蝕機

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刻蝕機

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青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司是專業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備公司，有完善的服務(wù)和銷售體系。專業(yè)經(jīng)營各類進口機械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計;愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;

 

半導(dǎo)體設(shè)備

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 能源

特長

·通過磁場輔助，可以產(chǎn)生比其他ICP方式低壓力、低電子溫度、高密度等離子體，從離子性蝕刻到自由基性蝕刻，可以進行寬范圍的等離子體控制，因此可以對應(yīng)于作為開發(fā)tool的多用過程。

·搭載了防止RF投入窗的沉積物附著的“Star電極”。另外，具有加熱功能，重視再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的裝置概念。

·實現(xiàn)作為高可靠性輸送機器人、裝置構(gòu)造簡單、維護簡單等研究開發(fā)Tool的可靠性。

·還可以追加豐富的可選功能和暗盒室。

·面向批量生產(chǎn)線，推出了由同一個Chamber構(gòu)成的支持多個Chamber的NE-5700、NE-7700。

用途

·化合物材料（LED、LD、高頻器件和功率器件）。

·電極加工、金屬布線、有機膜、陶瓷等加工。

·用于加工鐵電體、貴金屬、磁性膜等難蝕刻材料。

·納米壓印、NEMS、MEMS、各種傳感器。

·生物芯片、微流體裝置、光子晶體等。


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