氧化釔 Y2O3 氟氧化釔 氟化釔 Y2O3 YOF Y5O4F7 YF3
- 公司名稱 福建聯(lián)合新材料科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 氧化釔 Y2O3
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/4/1 10:56:55
- 訪問次數(shù) 753
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| 供貨周期 | 一個(gè)月 | 規(guī)格 | 氧化釔 氟化釔 氟氧化釔 Y2O3 YOF Y5O4F7 YF3 |
|---|---|---|---|
| 貨號 | 氧化釔 氟化釔 氟氧化釔 Y2O3 YOF Y5O4F7 YF3 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
| 主要用途 | 面板噴涂,半導(dǎo)體噴涂 |
氧化釔 氟化釔 氟氧化釔 Y2O3 YOF Y5O4F7 YF3
氟氧化釔 YOF Y5O4F7 YF3
作為半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部的保護(hù)性涂層，半導(dǎo)體干蝕設(shè)備內(nèi)部暴于高反應(yīng)性鹵素或氧系電漿。
若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導(dǎo)體上之微觀電路的缺陷。
因此，于半導(dǎo)體制造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵御電漿的耐蝕性和保護(hù)設(shè)備之元件的保護(hù)性涂層。
此保護(hù)性涂層之一是對于種類繁多的電漿展現(xiàn)耐蝕性的氟氧化釔。
氟氧化釔 YOF Y5O4F7 YF3
作為半導(dǎo)體制造設(shè)備內(nèi)部的保護(hù)性涂層，半導(dǎo)體干蝕設(shè)備內(nèi)部暴于高反應(yīng)性鹵素或氧系電漿。
若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以原本狀態(tài)使用，則會發(fā)生表面腐蝕而伴隨著生成粒子，其造成半導(dǎo)體上之微觀電路的缺陷。
因此，于半導(dǎo)體制造設(shè)備之待外露的表面提供用以賦予抵御電漿的耐蝕性和保護(hù)設(shè)備之元件的保護(hù)性涂層。
此保護(hù)性涂層之一是對于種類繁多的電漿展現(xiàn)耐蝕性的氟氧化釔。
化學(xué)式Y(jié)2O3，白色略帶黃色粉末，不溶于水和堿，溶于酸。主要用作制造微波用磁性材料和用重要材料（單晶；釔鐵柘榴石、釔鋁柘榴石等復(fù)合氧化物），也用作光學(xué)玻璃、陶瓷材料添加劑、大屏幕電視用高亮度熒光粉和其他顯像管涂料等。
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