熱燈絲寬波束離子源
- 公司名稱 北京歐普特科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/7/11 9:59:56
- 訪問次數(shù) 1239
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供貨周期 | 一個月以上 |
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熱燈絲寬波束離子源
KF/F 40 KF/I 40
圖1 熱燈絲寬波束離子源
產(chǎn)品介紹
熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發(fā)射原初電子,發(fā)射出來的原初電子,經(jīng)過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數(shù)。等離子體的電位略高于陽電位。這類高速電子與從進氣口均勻進入放電室的氣體原子相碰撞形成等離子體,形成的離子被離子光學系統(tǒng)發(fā)出形成離子束。
1. KF40使用簡單、緊湊的考夫曼離子源,可以方便快速地更換燈絲,配備特殊電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng),所有的惰性氣體以及氮氣均可適用于離子源,柵網(wǎng)系統(tǒng)有多種形狀與材料。
2. KF40安裝在儀器內(nèi)部和外部均可,使用功能陶瓷,維護方便快捷,工作壽命長。
技術規(guī)范
圖2 熱燈絲寬波束離子源尺寸布局
參數(shù) | KF/F40 | KF/I40 |
類型 | 法蘭安裝考夫曼子源 多孔徑提取柵網(wǎng) | 內(nèi)部安裝射考夫曼源 多孔徑提取柵網(wǎng) |
源材料 | 放電管:Al2O3 柵網(wǎng):C或Mo 燈絲固定器:Mo 永磁體:AlNiCo 外殼:不銹鋼 燈絲:鎢 | |
柵網(wǎng)類型 | 2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng) 3種不同焦距的標準系統(tǒng) | |
型號 | 參見上圖(無中和器) | |
重量 | 約4.5kg | 約2.5kg |
法蘭 | DN 100 CF | 3個DN 40 CF介質(zhì)引線 |
電流: | 30A | |
放電電流/電壓 | 6A / 150 V | |
離子電流 | 25 mA(取決于柵網(wǎng)類型和運行條件) | |
離子能量 | 50 到 1500 eV | |
加速電壓 | 0 –1000 V | |
過程氣體 | 惰性氣體,N2,不能是活性氣體 | |
氣流流量 | 2-7sccm 接頭:6 mm Swagelock | 2-7sccm 接頭:1/8“Swagelock(空氣和真空) |
電連接 | HV-DC:BNC HC-DC:電源啟動 | 空氣側:BNC,電源接通 真空側:包括0.5米真空電纜的電源啟動 |