OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE 1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/12/4 9:50:36
- 訪問次數(shù) 5035
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,能源,電子 |
---|---|---|---|
輸入電壓 | AC208-220V, 50/60Hz |
1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)產品特點:
1、射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;
2、齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;
3、4通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調控;
4、爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。
1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)參數(shù):
工作電源:
•輸入電壓:AC208-220V,50/60Hz
•總功率:<4KW
加熱爐參數(shù):
•最高溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;
•工作電壓:110V;
•額定功率:1.5KW;
•回轉爐旋轉速度:0-5rpm。
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V,AC,50/60Hz;
•氣體進出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出
•PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置
循環(huán)水冷機:
標配KJ-5000循環(huán)水冷機,水流速率:16L/min
產品尺寸和重量:
尺寸:1400mmL-600mmW-1240mmH
凈重:90Kg
承諾:
一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
1、射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;
2、齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;
3、4通道質子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調控;
4、爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。
1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統(tǒng)參數(shù):
工作電源:
•輸入電壓:AC208-220V,50/60Hz
•總功率:<4KW
加熱爐參數(shù):
•最高溫度:1100℃(<30min);連續(xù)工作溫度:1000℃;
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃;
•工作電壓:110V;
•額定功率:1.5KW;
•回轉爐旋轉速度:0-5rpm。
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•氣體進出口配件:6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出
•PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置
循環(huán)水冷機:
標配KJ-5000循環(huán)水冷機,水流速率:16L/min
產品尺寸和重量:
尺寸:1400mmL-600mmW-1240mmH
凈重:90Kg
承諾:
一年保質期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
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