背散射電子圖像分辨率 | 10nm | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
二次電子圖象分辨率 | 5nm | 放大倍數(shù) | 10x-200000x |
加速電壓 | 1-30kV | 價格區(qū)間 | 面議 |
儀器種類 | 鎢燈絲 | 應用領域 | 化工,石油,地礦,能源,電子 |
一、山東臺式電鏡產(chǎn)品介紹
EM科特(EmCrafts)CUBE-Ⅱ Plus臺式掃描電鏡能譜一體機是一款桌面緊湊型掃描電子顯微鏡。區(qū)別與傳統(tǒng)掃描電鏡的笨重機身,Cube系列占地面積小,便攜性能好,可遵照客戶服務指南任意移動SEM設備。
EM科特(EmCrafts)CUBE-Ⅱ Plus掃描電鏡能譜一體機提供5軸共心樣品臺(電動或手動)的臺式SEM。中心傾斜對于3D重構(gòu)功能至關(guān)重要。
二、山東臺式電鏡技術(shù)亮點
l高分辨率,與傳統(tǒng)SEM一樣優(yōu)異;
l高空間利用率和便攜性,易于移動??砂惭b在任何地方;
l無需等待:抽氣90秒/排氣10秒;
l高度可靠的高壓組件;
l無需對準電子槍;
三、臺式掃描電鏡能譜一體機技術(shù)指標
四、在硅太陽能電池觀察中的應用
綜述:
太陽能電池又稱為“太陽能芯片"或“光電池",是一種利用太陽光直接發(fā)電的光電半導體薄片。它只要被滿足一定照度條件的光照到,瞬間就可輸出電壓及在有回路的情況下產(chǎn)生電流。在物理學上稱為太陽能光伏。太陽能芯片的表面微觀形貌、原料和工藝對電池電性能影響很大,需要掃描電鏡進行觀測,從而控制電池質(zhì)量。
試驗方法:
取不同工藝進程的電池芯片直接放入掃描電鏡中觀察。快速觀察模式,照相時間 10s
結(jié)論:
EM科特掃描電鏡,可滿足硅太陽能電池制造工藝控制檢測需要。采用CUBE臺式掃描電鏡或GENESIS系列掃描電鏡,需要切割芯片。使用VERITAS 系列掃描電鏡可觀察整塊芯片,無損檢測。
1、晶圓制絨結(jié)構(gòu)掃描電鏡圖像
2、晶圓表面Saw damage etching
3、鋁漿電極掃描電鏡圖像
4、銀漿電極掃描電鏡圖像
20000x
50000x
100000x 納米銀粉顆粒